하드웨어
현미경
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CIX100
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전동식 초점
| - 3-축 조이스틱 포함 동축 전동식 미세 초점
- 초점 스트로크: 25 mm
- 미세 스트로크: 100µm / 회전
- 스테이지 홀더 장착 최대 높이: 40 mm
- 초점 속도: 200µm/초
- 소프트웨어 자동초점 지원
- 맞춤화 가능한 다지점 포커스 맵
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조명
| - 내장형 LED 조명
- 반사 및 비반사 입자의 동시 검출을 포함한 혁신적인 조명 메커니즘
- 소프트웨어로 조도 제어 가능
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이미징 장치
| - 컬러 CMOS USB 3.0 카메라
- 온 칩 픽셀 크기 2.2× 2.2µm
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샘플 크기
| - 표준 샘플은 직경이 47mm인 필터 멤브레인입니다. 멤브레인 직경이 25mm 또는 55mm인 필터 홀더 또는 맞춤형 샘플 홀더를 사용할 수 있습니다.
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노즈피스
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전동식
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전동식 노즈피스
| - 3개의 UIS2 대물렌즈가 사전 설치된 6지점 전동식 노즈피스
- 미리보기에 사용되는 PLAPON 1.25X
- 10µm보다 큰 입자를 검출하는 데 사용되는 MPLFLN 5X
- 2.5µm보다 큰 입자를 검출하는 데 사용되는 MPLFLN 10X
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소프트웨어 제어
| - 이미지 확대와 픽셀 및 크기 간 관계는 항상 인식됩니다.
- 선택한 대물렌즈는 측정 프로세스의 특정 단계에서 사용되며, 대물렌즈의 위치는 자동으로 지정됩니다.
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스테이지
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전동식 스테이지 X, Y
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전동식 스테이지 X, Y
| - 스텝 모터 제어 운동
- 최대 범위: 130 × 79mm
- 최대 속도: 240mm/s(4 mm 볼 스크류 피치)
- 반복성: < 1µm
- 해상도: 0.01µm
- 3축 조이스틱으로 제어 가능
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소프트웨어 제어
| - 스캐닝 속도는 사용된 배율에 따라 다르며, 10배에서 스캐닝 시간은 10분 미만입니다.
- 스테이지 정렬은 공장 조립 중 수행됩니다.
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표본 홀더
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샘플 홀더
| - 멤브레인 홀더는 장착 중 멤브레인의 원치 않는 회전을 피하기 위해 특별히 고안
- 멤브레인은 멤브레인 홀더에 의해 기계적으로 평평해짐
- 커버를 고정하는 데 도구가 필요치 않음
- 직경이 25mm, 47mm, 55mm인 필터 멤브레인용 샘플 홀더
- 입자 트랩, 입자 트랩 소모품, 테이프 리프트 샘플링용 샘플 홀더
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입자 표준 장치(PSD)
| - 시스템 측정을 검증하는 데 사용되는 참조 샘플
- CIX100의 고유한 기능을 제어하기 위해 점검 시스템의 내장 기능에 사용되는 샘플
- PSD는 항상 스테이지의 슬롯 2에 할당됨
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스테이지 인서트
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2지점 스테이지 인서트
| - 샘플 홀더 및 PSD의 올바른 위치 지정을 위한 스테이지 인서트
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컨트롤러
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워크스테이션
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사전 설치된 고성능 워크스테이션
| - HP Z4G4, Windows 10, 64비트 Professional(영어)
- 16GB RAM, 256GB SSD 및 4TB 데이터 저장소
- 2GB 비디오 어댑터
- Microsoft Office 2019(영어) 설치됨
- 네트워킹 기능, 영어 qwerty 키보드, 1,000dpi 광마우스
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애드인 보드
| - 전동식 컨트롤러, RS232 시리얼 및 USB 3.0
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언어 선택
| - 사용자가 운영 시스템 및 Microsoft Office 기본 언어를 변경할 수 있음
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터치패널 디스플레이
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23인치 슬림 화면
| - CIX 소프트웨어와 함께 사용하도록 최적화된 11920×1080 해상도
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전력
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정격
| - AC 어댑터(2), 컨트롤러 및 현미경 프레임(플러그 4개 필요)
- 입력: 100–240V AC 50/60Hz, 10A
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전력 소비
| - 컨트롤러: 700W, 모니터: 56W, 현미경: 5.8W, 컨트롤 박스 7.4W
- 전체: 769.2W
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도면
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치수(가로 × 세로 × 높이)
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약 1300mm × 800mm × 510mm(51.2인치 × 31.5인치 × 20.1인치)
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중량
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44kg(97lb)
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시스템 환경 제한 사항
정상 사용
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온도
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10°C~35°C(50°F~95°F)
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습도
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30~80%
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안전 규정
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환경
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실내용
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온도
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5 °C~40 °C(41 °F~104 °F)
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습도
| - 최대 80%(최대 31°C[88°F])
(응축물 없음)
- 온도가 31°C(88°F) 이상 오를 때 사용 가능 습도가 비례하여 낮아짐
- 70%(34°C[93°F])~60%(37°C[98°F])~50%(40°C[104°F])
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고도
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최대 2,000m(6,562피트)
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수평 수준
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최대 ±2°
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전원 공급 및 전압 안정성
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±10%
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오염 수준(IEC60664)
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2
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전체 전압 범주(IEC60664)
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II
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소프트웨어
소프트웨어
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CIX-ASW-V1.6
| - 기술적 청정도 검사를 위한 전용 워크플로 소프트웨어
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언어
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GUI
| - GUI: 영어, 프랑스어, 독일어, 스페인어, 일본어, 중국어 간체자 및 한국어
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온라인 도움말
| - 온라인 도움말: 영어, 프랑스어, 독일어, 스페인어, 일본어, 중국어 간체자 및 한국어
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라이선스 관리
| - 라이선스 카드로 활성화된 소프트웨어 라이선스(설치 시 이미 활성)
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사용자 관리
| - 시스템을 도메인 관리 네트워크에 연결할 수 있음
- 기능 범위는 승인된 사용자에 따라 선택 가능합니다.
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실시간 이미지
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컬러 모드로 표시
| - 금속 입자는 파란색으로 표시되고 비금속 입자는 본래 색상으로 표시됨
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윈도우 핏 방법
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실시간 검출
| - 입자가 향상된 속도로 캡처되자마자 검출됨
- 사용자는 측정 결과가 양호하지 않을 경우 프로세스를 중지할 수 있습니다.
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실시간 분류
| - 입자가 검출되자마자 분류됩니다.
- 입자 크기 등급은 실시간 획득 중 사용자 인터페이스에서 식별됩니다.
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현미경 모드
| - 현미경 모드는 현미경 이미징을 위해 사용할 수 있습니다.
- 재료 분석 솔루션(옵션이며 미포함)을 사용할 수 있습니다.
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이미지 캡처 및 수동 측정
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사용자 스냅샷 수집
| - 검토 모드에서는 샘플의 어떠한 위치에서도 단일 이미지를 획득할 수 있고, 실시간 관찰 모드(직접 이미지에서) 또는 샘플 보기 모드(기록된
데이터에서)로도 이미지를 획득 가능
- 표준 해상도가 1,000 × 1,000픽셀인 이미지는 .tif, .jpg 또는 .png 파일로 저장 가능
- 스냅샷은 검출된 입자에 연결하여 나중에 분석 보고서에 사용 가능
- 입자 스냅샷은 EFI(Extended Focus Imaging) 모드에서 자동으로 획득 가능
- EFI 모드에서 수행된 기록은 분석 보고서에 사용 가능
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수동 측정
| - 획득한 스냅샷에서 임의의 거리 측정 수행 가능
- 임의 측정은 이름을 변경할 수 있고 색상을 입힐 수 있음
- 임의의 측정 및 축척 막대는 저장 시 이미지로 저장됨
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하드웨어 제어
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XY 전동식 스테이지
| - 소프트웨어를 이용한 조이스틱 작동 및 제어
- 원형 및 직사각형 샘플 영역 검사
- 선택한 입자의 자동 및 수동 재배치
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전동식 노즈피스파
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전동식 초점 조정
| - 조이스틱을 이용한 제어
- 소프트웨어 자동초점 사용 가능
- 다지점 포커스 맵을 사용한 예측 가능한 자동초점
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시스템 검사
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시스템 검증
| - 시스템은 입자 표준 장치 매개 변수를 측정하여 검증됨
- OK 또는 NOK 품질 가치가 산출됨
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선택 가능한 개체
| - 시스템 검사는 작동하는 개체를 사용해서만 수행 가능(1개 이상의 개체를 선택해야 함)
- 검사 시스템은 5배 또는 10배 대물렌즈(또는 둘 다 사용)로 수행됨
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기술적 청정도 표준
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지원되는 표준
| - ASTM E1216-11:2016; ISO 4406:2021; ISO 4407:1999; ISO 4407:2002[누적 및 차등]; ISO 11218:2017; ISO 12345:2013; ISO 14952:2003; ISO 16232-10:2007(A, N 및 V); ISO 16232:2018 (A, N 및 V); ISO 21018:2008; DIN 51455:2020 [70% 및 85%]; NAS 1638:1964; NF E 48-651:1986; NF E 48-655:1989; SAE AS4059:2020; VDA 19.1:2015 (A, N 및 V); VDA 19.2:2015; VDI 2083-21
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VDA19:2016 권장 사항을 정밀하게 준수
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입자군 식별
| - 입자는 입자군(섬유, 반사, 반사 섬유 등)으로 분류 가능
- AI를 기반으로 입자 유형 측면에서 검출된 입자 식별 가능
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맞춤형 표준
| - 사용자 정의 표준을 쉽게 정의할 수 있음
- 입자 측정 매개 변수에는 실 모양 입자 크기와 DT 55-83에 따른 소형 입자 크기가 포함됨
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검사 설정
| - 사용자는 시스템을 통해 검사 설정을 불러오기, 정의, 복사, 이름 변경, 삭제 및 저장 가능
- 표준 및 보고서 템플릿도 보관 및 회수 가능
- 검출 임계값을 뒤집어 어두운 배경에서 밝은 입자를 검출 가능
- 여러 샘플을 연속적으로 획득 가능
- 개별 입자 유형의 승인 한계를 설정할 수 있음
- 다양한 입자 유형에 대해 오염 등급 코드(CCC) 확장 가능
- 각 샘플을 특정 구성을 사용하여 검사 가능
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입자 타일 보기
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탐색을 개선하기 위해 검출된 입자를 타일로 표시
| - 타일을 더블클릭하면 모든 입자의 위치를 검색할 수 있음
- 모든 타일이 실제 입자 크기에 맞춰 조정됨
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전체 멤브레인 보관
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완전한 필터가 보관됨
| - 사용자는 오프라인 분석을 통해 결과 표시를 위한 다른 표준을 선택 가능
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데이터 내보내기
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데이터 저장
| - 검사 데이터를 Excel(.xlsx) 표로 내보낼 수 있음
- 소프트웨어에서 사용 가능한 모든 표를 Excel로 내보낼 수 있음
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트렌드 분석
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여러 샘플에 대한 트렌드 분석(내장된 SQC 도구)
| - 크기 등급별 데이터 표시 가능
- 데이터를 시간, 샘플, 측정 ID별로 플로팅 가능
- 배율 선택 가능(로그-정상, 로그-로그)
- 데이터 포인트를 추출하여 스프레드시트로 내보낼 수 있음
- 표를 Q-DAS(.dfq) 형식으로 내보낼 수 있음. 소프트웨어에서 사용 가능한 모든 표를 Excel로 내보낼 수 있음
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입자 편집
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입자는 변경 프로세스 중에 편집할 수 있습니다.
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다음이 가능합니다.
- 라인이나 폴리라인으로 입자 추가, 삭제, 병합 또는 분할
- 입자 유형 변경
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동적 보고서
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Microsoft Word 2019를 사용하여 전문 분석 보고서를 생성할 수 있음
| - 템플릿을 사용자 정의할 수 있음
- 사용자는 다른 입자군을 선택할 때 함께 그룹화된 사진 또는 표 뒤에 사진을 배치하도록 선택 가능
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CIX-S-HM 솔루션(옵션)
높이 측정
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선택한 입자의 자동 및 수동 높이 측정
| - 선택한 입자의 상단에서 하단까지 전동식 초점 드라이브를 구동하는 옵션 소프트웨어 솔루션입니다. 그런 다음 입자 높이가 상단과 하단 Z
좌표 사이의 차이에서 처리됩니다.
- 추가 대물렌즈(20X MPLFLN)와 설치 시 활성화되어야 하는 라이선스 카드가 포함됩니다.
- 여러 위치에서 자동 높이 측정을 위해 복수의 입자를 선택할 수 있습니다.
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환경 법률 및 규정
유럽
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저전압 지침 2014/35/EU
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EMC 지침 2014/30/EU
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RoHS 지침 2011/65/EU
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REACH 규정 번호 1907/2006
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포장 및 포장 폐기물 지침 94/62/EC
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WEEE 지침 2012/19/EU
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기계류 지침 2006/42/EC
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미국
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UL 61010-1:2010 Edition 3
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FCC 47 CFR Part15 SubPartB
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캐나다
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CAN/CSA-C22.2(No. 61010-1-12)
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호주
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무선통신법 1992, 전자통신법 1997
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에너지 보존 규정 AS/NZS 4665-2005
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일본
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전자제품 및 재료안전법(PSE)
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대한민국
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전기용품 안전관리법
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에너지 효율 라벨링 및 규격에 관한 규정
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EMC 및 무선 통신 규정(고지 2913-5)
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중국
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China RoHS
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China PL 법
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매뉴얼 규정
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