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MX61A는 반도체 검사 전용 현미경으로 사용자가 오랜 시간동안 편안하게 사용할 수 있는 인체공학적인 디자인을 갖추었습니다. 장시간 검사할 수 있고, 작업의 통일성과 생산성을 향상시킬 수 있습니다.
MX61A는 새로운 UIS2광학 시스템의 도입을 통해 최고의 영상 성능을 낼 수 있도록 개선되었습니다.
명시야,암시야,미분간섭을 포함한 모든 조명 기술에서 선명하고 명확한 트루 컬러 이미지를 보여줍니다. MX61A의 암시야 관찰 이미지의 밝기는 이전의 OLYMPUS
UIS 광학 시리즈에 비해 4배정도 밝아 졌습니다.
관찰 이미지 예 | ||
명시야 | 새로운 암시야 | 이전의 암시야 |
Aperture Stop 조절 | 통합된 전동타입의 조리개가 렌즈에 따라 자동적으로 조절됩니다. 각각의 배율에 따라 최상의 이미지 품질을 얻을 수 있고 사용자의 눈을 편하게 하여 규칙적인 검사를 더욱 효율적으로 만들어 줍니다. |
고배율 렌즈와 Autofocus 기능 | MX61A는 검사의 정확성과 속도를 위해 레이저 자동 초점 장치를 갖추고 있습니다.새로 개발된 multi-spot 센서의 도입은 표본의 수직지형의 영향을 제거하여 안정성을 크게 증가시키며 모든 관찰 방법에 대해 기대치보다 초과하며, 더 빨라지고 반복도가 상승합니다. |
대물렌즈 UIS2 Series | UIS2 대물렌즈 시리즈는 deep ultraviolet, 가시광선, 근적외선 관찰에서 높은 성능의 영상을 제공합니다. MX61A는 통합된 소프트웨어 플랫폼이나 핸드셋을
통해 쉽게 선택할 수 있는 시스템에서 명시야,암시야,미분간섭,형광과 근적외선 관찰법들을 호환하여 사용할 수 있습니다. |
관찰 이미지 예 | ||
명시야 | 암시야 | 미분간섭 (DIC) |
형광 | 근적외선 (좌) 과 가시광성 (우) 비교 |
통합된 현미경 및 소프트웨어 시스템 | OLYMPUS 는 디지털 카메라와 전동 스테이지를 포함한 모든 전동 기능을 제어하기 위해 MX61A 현미경 프레임과 함께 통합된 여러 소프트웨어
플랫폼을 제공합니다. |
MX61A는 SEMI( Semiconductor Equipment and Materials International) S2와 S8 기준에 따라 웨이퍼에 안전하고 인체공학적이게 제작되었으며, CE도 표시되어 있습니다.
Observation Tube 조절 | Observation Tube 조절의 넓은 범위는 사용자가 앉아서 적절한 자세를 취하여 안정적이고 편안한 작업을 할 수 있습니다. |
전동 Nosepieces | 초고속 전동 nosepiece 의 회전 속도는 clean room과의 호환성을 유지하면서 검사 간의 속도를 줄여줍니다. OLYMPUS는 이상적인 검사방법을 위해 3가지 종류의 제어방식을 제공합니다. 소프트웨어, 프레임 버튼, 독립적인 핸드셋. |
고배율의 관찰 이미지 | OLYMPUS는 100배,150배 대물렌즈를 사용할 때 진동으로 인한 흐림을 최소화하고 이미지의 해상도와 contrast를 최대화 하기 위하여 견고하고 진동에 민감함 MX61A 프레임을 채택하였습니다. |
Handset | 인체공학적으로 설계된 핸드셋은 렌즈 선택과 관찰법을 선택하기 위해 현미경의 전동기능을 제어할 수 있는 버튼을 제공합니다. 사용자는 오토포커스 유닛의 TRACE 와 ONE SHOT을 조절할 수 있고, 수동 미세 초점, DIC의 위치 조절, 램프 강도, 샘플 교체를 위한 스테이지 낮추기 도 조절 가능합니다. |
전동 스테이즈 | 높은 정확도의 전동 스테이지를 MX61A 현미경과 함께 사용할 수 있습니다. 조이스틱과 소프트웨어로 조종이 가능한 전동 스테이지는 검사의 반복도를 높이고 인체공학적이라 검사할 수 있는 작업시간을 연장시켜줍니다. |
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