반사 암시야 관찰

해당 관찰 방식은 사용자가 대물 렌즈 외부에서 링 조명을 비스듬히 조사하여 관찰 광학 시스템에 표본으로부터 조사되는 산란 빔 및 회절 빔을 관찰할 수 없도록 합니다. 이 현미경 방식을 통해 사용자는 광학 현미경의 해상력 한계보다 작은 8nm 수준의 미세 긁힘과 결함을 확인할 수 있습니다. N.A. 1.4의 대물 렌즈를 사용한 명시야 관찰의 해상력이 0.24μm(파장 550nm)이기 때문에 사용자는 암시야 관찰의 보조를 받은 일반 조명 관찰 대비 약 30배 증가한 해상력으로 결함을 확인할 수 있습니다. 아래 그림에 도시된 반사 암시야 관찰 방식에서 표본은 조명 광학 시스템에 탑재된 링 조리개에서 형성된 링형 조명 빔을 사용하여 링 반사경의 원주(또는 반사경 본체)에 위치한 링 콘덴서 렌즈를 통해 보이는 대물 렌즈의 N.A.보다 큰 값으로 표본을 비춥니다. 그래서 현미경은 원주 위치에 링 조명 경로를 가진 반사 명시야/암시야 조명 장치 및 암시야/명시야 대물 렌즈를 필요로 합니다.

이 방식을 통해 사용자는 명시야 관찰에서 확인하기 어려운 웨이퍼, 유리 등의 미러 표본에 발생한 흠집이나 미세 층을 선명하게 확인할 수 있습니다.

암시야 현미경의 광학 시스템 구성: 반사형

웨이퍼

관련 링크

> 제품 페이지 상단

> 디지털 현미경 페이지 상단

> 레이저 컨포칼 현미경 페이지 상단 

> UIS2 대물 렌즈 라인업