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지식

반사 형광 관찰

이 기술은 형광을 방출하는 표본에 사용됩니다. 형광 방식을 통한 웨이퍼 오염 검사, 포토레지스트 잔류물, 균열 감지에 적합합니다.

흑운모 화강암
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텐셀
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