개요
LEXT™ OLS5100 3D 레이저 스캐닝 현미경재료 분석용 레이저 현미경스마트 워크플로 구현, 실험 속도 향상결함 분석 및 재료 공학 연구를 위해 설계된 OLS5100 레이저 현미경은 탁월한 측정 정확성과 광학 성능을 현미경 사용 용이성을 향상하는 스마트한 도구와 결합합니다. 미크론 단위 미만의 수준에서 형태와 표면 거칠기를 신속하고 효율적으로 정밀하게 측정하여 신뢰할 수 있는 데이터로 워크플로를 간소화하세요. 동영상 보기 |
손쉬운 레이저 스캐닝 현미경 검사신중하게 설계된 소프트웨어 덕분에 초보자와 숙련된 사용자 모두 현미경을 쉽게 사용할 수 있습니다.
보장된 정확도를 포함하여 이 웹 페이지에 제공된 정보는 Evident가 설정한 조건을 기반으로 합니다. |
쉬워진 재료 공학 및 결함 분석 실험Smart Experiment Manager는 이전에 시간이 많이 소요되었던 작업을 자동화하여 서브미크론 3D 관찰 및 오류 분석 실험 워크플로를 더욱 간단하게 만듭니다.
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고객의 사양에 맞게 맞춤화 가능크고 무거운 샘플의 재료 분석을 위해 OLS5100 레이저 스캐닝 현미경의 모든 고급 기능을 활용하세요. |
신뢰할 수 있는 서비스와 지원보정부터 교육까지, Evident는 최적의 장치 성능을 유지할 수 있는 광범위한 서비스 포트폴리오를 제공합니다. Evident 서비스 계약의 특징:
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이점
레이저 현미경 이점 | ||
1. 서브미크론 수준에서 3D 관찰/측정 나노미터 범위의 단차를 관찰하고 서브미크론 수준에서 높이 차이를 측정합니다. | ||
2. ISO25178에 준거한 표면 거칠기 측정 선형에서 평면까지 표면 거칠기를 측정합니다. | ||
3. 비접촉, 비파괴, 고속 샘플 준비가 필요하지 않습니다. 샘플을 스테이지에 놓기만 하면 측정을 시작할 수 있습니다. |
버튼을 눌러 신뢰할 수 있는 데이터 제공스마트 스캔 II 숙련된 사용자와 초보 사용자 모두 스마트 스캔 II 기능을 사용하여 빠르고 쉽게 데이터를 수집할 수 있습니다. 샘플을 스테이지에 놓고 시작 버튼을 누르면 현미경이 나머지 작업을 수행합니다.
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작동 환경에 맞는 맞춤형 측정 성능 보증 | |
정확성 및 반복성 보장 | |
관측 시야를 넘어서는 표면 계측 *OLS5100-SAF/EAF만 해당 |
사용자 친화적인 고해상도/고배율 관찰 | ||
연속 자동 초점 현미경의 연속 자동 초점 기능은 스테이지를 이동하거나 대물렌즈를 변경할 때 이미지의 초점을 유지하여 수동 조정의 필요성을 최소화합니다. 영구 초점 추적을 사용하면 빠르고 쉽게 관찰을 수행할 수 있습니다. | ||
나노 규모의 실시간 관찰을 위한 듀얼 DIC 나노미터 규모에서 실시간 관찰을 통해 샘플의 미세한 손상을 감지합니다. 미분 간섭 대비(DIC) 관찰을 통해 일반적으로 레이저 현미경의 분해능을 넘어서는 나노미터 규모로 표면 윤곽을 시각화할 수 있습니다. DIC 레이저 모드를 사용하는 경우 OLS5100 현미경은 5x or 10x 저배율 대물렌즈를 사용하는 경우에도 전자 현미경과 비슷한 실시간 이미지를 얻을 수 있습니다. | 웨이퍼의 뒷면 | 하드 디스크 랜딩존 |
종합적인 분석다양한 분석 기능을 사용할 수 있습니다. 다음은 예시일 뿐이므로, 자세한 내용은 브로슈어를 다운로드해 참고하거나 Evident 담당자에게 문의하시기 바랍니다. | |
ISO25178 준거한 표면 거칠기 측정 OLS5100 현미경은 직경 0.4μm의 레이저 빔으로 샘플 표면을 스캔하여 접촉식 표면 거칠기 계측기로 측정할 수 없는 샘플의 표면 거칠기를 쉽게 측정할 수 있습니다. 접촉식 표면 거칠기 계측기에서는 측정할 수 없는 표면의 컬러 이미지, 레이저 이미지, 3D 형상 데이터를 동시에 획득할 수 있어 분석 범위가 확장됩니다. | |
표면 프로파일의 최고점과 최저점 사이의 단차 측정 | 프로파일 측정/측정 지원 도구 프로파일 측정 기능은 이미지에서 측정할 위치에 임의로 측정 라인을 그려 표면 프로파일을 표시합니다. 또한 임의의 두 점 사이의 간격, 너비, 단면적 및 반경을 측정합니다. 접촉식 측정 도구와 달리 측정 위치를 설정하는 작업은 간단합니다. 측정 라인과 측정 지점을 이미지에서 확인할 수 있어 아주 작은 사이트라도 정확하게 측정할 수 있습니다. 측정 보조 도구를 사용하면 최고점, 최저점, 중간점 및/또는 평균점을 사용하여 측정할 지점을 정확하게 지정할 수 있습니다. 획득한 데이터에 사이트를 지정하면 지정된 조건에 따라 특징점이 자동으로 추출됩니다. |
소프트웨어
간단한 재료 공학 및 불량 분석 실험 관리 | |
새로운 재료를 테스트할 때 실험 조건을 관리하는 것은 복잡하므로 OLS5100 레이저 현미경의 Smart Experiment Manager는 실험 계획 수립과 같은 주요 단계를 자동화하여 프로세스를 단순화합니다. |
일상적인 워크플로 자동화 | |
매크로 기능 매크로 제작 도구를 사용하여 전체 검사 워크플로를 자동화할 수 있습니다. 프로시저를 쉽게 생성 및 수정한 후 등록된 매크로 파일을 실행하여 신뢰할 수 있는 결과를 얻을 수 있습니다. Smart Experiment Manager와 결합하면 단 한 번의 클릭으로 합격/불합격 판정을 내릴 수 있습니다. |
데이터 조직 간소화 | |
빠른 데이터 정렬 | |
자동 데이터 입력 |
간단한 실험 조건 데이터 조직 | |
자동 파일 이름 생성 실험 계획의 각 셀을 클릭하면 소프트웨어에서 기본 보관을 위해 평가 조건이 포함된 파일 이름을 자동으로 생성합니다. 각 파일에는 관련 이미지와 데이터가 포함되어 있습니다. |
빠른 측정 결과 | |
허용 오차 판정 | |
히트맵 |
다중 데이터 분석 | |
비교 데이터 분석 |
사양
메인 유닛
모델 | OLS5100-SAF | OLS5100-SMF | OLS5100-LAF | OLS5100-EAF | ||
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총 배율 | 54x~17,280x | |||||
관측 시야 | 16µm~5,120µm | |||||
측정 원리 | 광학 시스템 |
반사형 컨포컬 레이저 스캐닝 레이저 현미경
반사형 컨포컬 레이저 스캐닝 레이저-DIC 현미경 컬러 컬러-DIC | ||||
측정 원리 | 수광소자 |
레이저: 광전자 증배관(2채널)
컬러: CMOS 컬러 카메라 | ||||
높이 측정 | 디스플레이 해상도 | 0.5nm | ||||
높이 측정 | 동적 범위 | 16비트 | ||||
높이 측정 | 반복성 σn-1*1 *2 *5 | 5X: 0.45μm, 10X: 0.1μm, 20X: 0.03μm, 50X: 0.012μm, 100X: 0.012μm | ||||
높이 측정 | 정확성*1 *3 *5 | 0.15+L/100μm(L: 측정 길이[μm]) | ||||
높이 측정 | 스티칭 이미지의 정확성*1 *3 *5 | 10X: 5.0+L/100μm, 20X 이상: 1.0+L/100μm (L: 스티칭 길이[μm]) | ||||
높이 측정 | 측정 노이즈(제곱근 노이즈) *1 *4 *5 | 1nm(유형) | ||||
너비 측정 | 디스플레이 해상도 | 1nm | ||||
너비 측정 | 반복성 3σn-1*1 *2 *5 | 5X: 0.4μm, 10X: 0.2μm, 20X: 0.05μm, 50X: 0.04μm, 100X: 0.02μm | ||||
너비 측정 | 정확성*1 *3 *5 | 측정값 +/- 1.5% | ||||
너비 측정 | 스티칭 이미지의 정확성*1 *3 *5 | 10X: 24+0.5L μm, 20X: 15+0.5L μm, 50X: 9+0.5L μm, 100X: 7+0.5L μm(L: 스티칭 길이[mm]) | ||||
단일 측정 시 최대 측정 지점 수 | 4096 × 4096픽셀 | |||||
최대 측정 지점 수 | 36메가픽셀 | |||||
XY 스테이지 구성 | 길이 측정 모듈 | • | 해당 없음 | 해당 없음 | • | |
XY 스테이지 구성 | 작동 범위 | 100mm × 100mm(3.9인치 × 3.9인치) 전동식 | 100mm × 100mm(3.9인치 × 3.9인치) 수동식 | 300mm × 300mm(11.8인치 × 11.8인치) 전동식 | 100mm × 100mm(3.9인치 × 3.9인치) 전동식 | |
최대 샘플 높이 | 100mm(3.9인치) | 40mm(1.6인치) | 37mm(1.5인치) | 210mm(8.3인치) | ||
레이저 광원 | 파장 | 405nm | ||||
레이저 광원 | 최대 출력 | 0.95mW | ||||
레이저 광원 | 레이저 등급 | Class 2(IEC60825-1:2007, IEC60825-1:2014)*6 | ||||
컬러 광원 | 백색 LED | |||||
전력 | 240W | 240W | 278W | 240W | ||
무게 | 현미경 본체 | 약 31kg(68.3lb) | 약 32kg(70.5lb) | 약 50kg(110.2lb) | 약 43kg(94.8lb) | |
무게 | 컨트롤 박스 | 약 12kg(26.5lb) |
*1 ISO554(1976), JIS Z-8703(1983)에 규정된 항온 항습 환경(온도: 20˚C±1˚C, 습도: 50%±10%)에서 사용 시 보장됩니다.
*2 20x 이상의 경우 MPLAPON LEXT 시리즈 대물렌즈로 측정 시.
*3 전용 LEXT 대물렌즈로 측정 시.
*4 MPLAPON100XLEXT 대물렌즈로 측정한 경우의 대표값이며 보증값과 다를 수 있습니다.
*5 Evident 인증 시스템에 따라 보장됩니다.
*6 OLS5100은 Class 2 레이저 제품입니다. 빔을 응시하지 마십시오.
** Evident에서 제공하는 현미경 컨트롤러에 대해 Window 10의 OS 라이선스가 인증되었습니다. 따라서 Microsoft의 라이선스 조건이 적용되며, 사용자는 이 조건에
동의하게 됩니다. Microsoft 라이선스 조건을 다음을 참조하시기 바랍니다.
https://www.microsoft.com/en-us/Useterms/Retail/Windows/10/UseTerms_Retail_Windows_10_english.htm
대물렌즈
시리즈 | 모델 | 개구수(NA) | 작동 거리(WD)(mm) |
---|---|---|---|
UIS2 대물렌즈 | MPLFLN2.5X | 0.08 | 10.7 |
MPLFLN5X | 0.15 | 20 | |
전용 LEXT 대물렌즈(10X) | MPLFLN10XLEXT | 0.3 | 10.4 |
전용 LEXT 대물렌즈(고성능 유형) | MPLAPON20XLEXT | 0.6 | 1 |
MPLAPON50XLEXT | 0.95 | 0.35 | |
MPLAPON100XLEXT | 0.95 | 0.35 | |
전용 LEXT 대물렌즈(긴 작동 거리 유형) | LMPLFLN20XLEXT | 0.45 | 6.5 |
LMPLFLN50XLEXT | 0.6 | 5.2 | |
LMPLFLN100XLEXT | 0.8 | 3.4 | |
매우 긴 작동 거리 렌즈 | SLMPLN20X | 0.25 | 25 |
SLMPLN50X | 0.35 | 18 | |
SLMPLN100X | 0.6 | 7.6 | |
LCD용 긴 작동 거리 렌즈 | LCPLFLN20XLCD | 0.45 | 8.3~7.4 |
LCPLFLN50XLCD | 0.7 | 3.0~2.2 | |
LCPLFLN100XLCD | 0.85 | 1.2~0.9 |
애플리케이션 소프트웨어
표준 소프트웨어 | OLS51-BSW | |||
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표준 소프트웨어 | 데이터 획득 앱 | 분석 앱(간단한 분석) | ||
전동식 스테이지 패키지 애플리케이션*1 | OLS50-S-MSP | |||
고급 분석 애플리케이션*2 | OLS50-S-AA | |||
필름 두께 측정 애플리케이션 | OLS50-S-FT | |||
자동 가장자리 측정 애플리케이션 | OLS50-S-ED | |||
입자 분석 애플리케이션 | OLS50-S-PA | |||
Experiment Total Assist 애플리케이션 | OLS51-S-ETA | |||
구형/실린더형 표면 각도 분석 애플리케이션 | OLS50-S-SA |
*1 자동 스티칭 데이터 획득 및 다중 영역 데이터 획득 기능 포함.
*2 프로파일 분석, 차이 분석, 단차 분석, 표면 분석, 면적/부피 분석, 선 거칠기 분석, 면적 거칠기 분석 및 히스토그램 분석 포함.
Evident 레이저 현미경
OLS5100-SAF 설정 예시
OLS5100-SAF
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OLS5100-EAF
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OLS5100-SMF
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OLS5100-LAF
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