A Olympus possui seu próprio scanner ótico.

O novo scanner MEMS realiza uma varredura X-Y precisa com baixa distorção de traços de varredura e aberrações óticas mínimas. Enquanto alguns microscópios a laser não conseguem evitar oscilações em medições de áreas periféricas, o microscópio OLS5000 obtém resultados uniformes independentemente de o centro ou a periferia do campo visual estar sendo medido(a).