O algoritmo de varredura do microscópio proporciona uma melhor qualidade de dados e uma velocidade superior para reduzir o tempo de varredura e simplificar seu fluxo de trabalho, resultando em uma melhor produtividade. |
Amostra de 80 nm de altura padrão VLSI (MPLFLN10XLEXT) | O microscópio OLS5000 incorpora um algoritmo PEAK para construção de dados em 3D. Este algoritmo fornece dados altamente precisos, de ampliações baixas a alta, e reduz o tempo de aquisição de dados. |
Ao medir a forma dos degraus em uma amostra que contém planos quase verticais, como um componente eletrônico ou MEMS, o tempo de aquisição de dados pode ser reduzido ao limitar o intervalo de varredura na direção Z.
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As informações nesta página, incluindo a garantia de precisão, se baseiam em condições definidas pela Olympus.