A série AL120 de carregador de wafers proporciona uma transferência rápida e segura de wafers semicondutores compostos e de silício da cassete para a platina do microscópio. Projetado para aumentar a produtividade operacional do produto, o manipulador de wafers combina com o nosso microscópio para semicondutores MX63 para uma solução de inspeção de wafers confiável.
A capacidade para acomodar diferentes tamanhos de wafers é fundamental para expandir as instalações de fabricação de wafers. A série AL120 consiste em três modelos baseados no diâmetro do wafer, o modelo de 200 mm, o modelo conversível de 150 mm e 200 mm e o modelo de 150 mm para wafers com tamanho de 150 mm ou inferiores. Cada sistema é projetado para transferência de wafers e inspeção em microscópio. As inspeções macro do lado de cima e do lado de baixo também estão disponíveis para todos os tamanhos de wafers.
Espessura e tamanho de wafers
Para atender às demandas dos fabricantes de wafers finos, o design do braço do modelo AL120-LMB-90 tem capacidade para lidar com uma cassete cheia de wafers de 90 µm.
Inspeção macro com uma função de rotação de 360 graus (simulação) |
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O design do AL120 inclui funções avançadas para maximizar a segurança do wafer. O sistema de 3 sensores monitora continuamente as posições do wafer para recuperação, transferência, carregamento e descarregamento seguros e adequados do wafer. Estes recursos evitam os danos do carregamento de mais de um wafer no suporte e de apanhá-los de suportes cruzados acidentalmente.
O carregador de wafers AL120 faz interface com a nossa série MX™ de microscópios dedicados à inspeção de wafers, que oferece resolução de imagem e clareza excepcionais em uma variedade de modos de observação, incluindo campo claro, campo escuro, contraste de interferência diferencial (DIC) e infravermelho próximo (NIR). O carrossel de objetivas e o diafragma de abertura motorizados são intertravados, permitindo a iluminação e o contraste ideais de cada lente objetiva. O manipulador de wafers também pode ser adaptado a outros modelos de microscópio mediante pedido especial.
* A platina motorizada pode não estar disponível em algumas regiões.
Especificações do Carregador de wafers AL120*1 | ||||||||
Tipo de 200 mm | Tipo conversível 200 mm/150 mm | Tipo de 150 mm | ||||||
AL120-
LMB8- 90 |
AL120-
LMB86- 180 |
AL120-
LMB8 |
AL120-
LMB6- 150 |
AL120-
L6- 150 | ||||
Tamanho do wafer (padrão SEMI) | 200 mm | 200 mm/150 mm |
150 mm/
125 mm/ 100 mm | |||||
Espessura mínima do wafer | 90 µm | 180 µm | 400 µm | 150 µm | ||||
Tipo de cassete | Pad. SEMI 25 (26) suportes | |||||||
Número de cassetes | 1 | |||||||
Receita de inspeção | Todas/amostragem | |||||||
Sequência de inspeção | Micro (microscópio) | SIM | SIM | SIM | SIM | SIM | ||
Macro, parte superior | SIM | SIM | SIM | SIM | ||||
Macro, parte traseira | SIM | SIM | SIM | SIM | ||||
Macro, 2ª parte traseira | SIM | SIM | SIM | SIM | ||||
Orientação do wafer (a cada 90°) | Sem contato (Orientação Plana/sulco) | Sem contato (Orientação Plana) | ||||||
Modelo de microscópio compatível | Microscópio de inspeção MX63 para semicondutores e monitores de tela plana | |||||||
Dimensões (mm) | 640 (L) x 620 (P) x 378 (A) somente o corpo, 1100 (L) x 620 (P) x 378 (A) com o microscópio | 570 (L) x 620 (P) x 401 (A) somente o corpo, 983 (L) x 620 (P) x 401 (A) com o microscópio | ||||||
Peso (kg) (somente o corpo principal) | 44 | 44 | 44 | 40 | 37 | |||
Utilidade (consumo de energia/vácuo) | CA 100 V - 120 V, 1 A ou CA 220 V - 240 V, 0,5 A 50/60 Hz, -67 a -80 kpa, 20 litros/min ou superior |
*1 Todos os tipos de wafers devem ser testados antecipadamente, entre em contato com o seu escritório local da Evident.
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