Ferramentas de observação e análise

• Ferramentas de análise inovadoras
• Design avançado para apoiar a conformidade da sala limpa

Ferramentas de análise inovadoras

As capacidades de observação versáteis da série MX63 proporcionam imagens claras e nítidas para que os usuários possam detectar defeitos nas suas amostras de forma confiável. As novas técnicas de iluminação e opções de aquisição de imagem no software de análise de imagens PRECiV oferecem aos usuários mais opções para avaliar suas amostras e documentar seus achados.

O invisível se torna visível: observação e aquisição MIX

A tecnologia de observação MIX produz imagens de observação únicas combinando campo escuro com outro método de observação, como campo claro, fluorescência ou polarização. A observação MIX permite que os usuários visualizem defeitos que são difíceis de ver com microscópios convencionais. O iluminador de LED circular usado para a observação de campo escuro possui uma função de campo escuro direcional na qual apenas um quadrante é iluminado em um determinado momento. Isso reduz o halo de uma amostra e é útil para visualizar a textura da superfície de uma amostra.

Estrutura em wafer semicondutor

Resíduo fotorresistente em um wafer semicondutor

Condensador

Crie facilmente imagens panorâmicas: MIA instantâneo

Com o alinhamento de múltiplas imagens (MIA), os usuários podem unir imagens rápida e facilmente movendo os botões KY na platina manual – não é necessária uma platina motorizada. O software PRECiV utiliza recursos de reconhecimento de padrão para gerar uma imagem panorâmica, fornecendo aos usuários um campo de visão mais amplo.

Imagem com MIA instantâneo de uma moeda

Criar imagens focalizadas: EFI

A função de imagem focal estendida (Extended Focus Imaging, EFI) no PRECiV captura imagens de amostras com alturas que ultrapassam a profundidade de foco da objetiva e as empilha para criar uma imagem com todos os focos incluídos. É possível executar a EFI utilizando tanto um eixo Z manual ou motorizado, criando um mapa de altura para uma visualização fácil de estruturas. Além disso, também é possível criar uma imagem EFI no PRECiV Desktop em modo offline.

Batente “stud” em um chip de CI

Capture áreas claras e escuras usando HDR

Ao usar o processamento de imagem avançado, a alta variação dinâmica (HDR) se ajusta às diferenças na claridade de uma imagem para reduzir o brilho. A HDR aprimora a qualidade visual das imagens digitais, o que ajuda a gerar relatórios com um aspecto profissional.

De medições básicas a análises avançadas

A medição é essencial para o controle e inspeção de qualidade e de processos. Com isso em mente, até o pacote de nível básico do software PRECiV inclui um menu completo de funções de medição interativas, com todos os resultados de medição salvos com arquivos de imagem para documentação adicional. Além disso, a solução para materiais do PRECiV oferece uma interface intuitiva e orientada para o processo de trabalho para análises de imagem complexas. As tarefas de análise de imagens podem ser executadas rápida e precisamente com apenas um clique. Com uma redução significativa no tempo de processamento para tarefas repetidas, os operadores podem se concentrar na inspeção em questão

> Saiba mais sobre o software PRECiV

Criação eficiente de relatórios

Criar um relatório muitas vezes pode demorar mais do que capturar a imagem e realizar as medições. O software PRECiV proporciona a criação intuitiva de relatórios para produzir repetidamente relatórios inteligentes e sofisticados com base em modelos predefinidos. A edição é simples e os relatórios podem ser exportados para o software Microsoft Word ou PowerPoint. Além disso, a função de geração de relatórios do software PRECiV permite o zoom e a ampliação digitais nas imagens adquiridas. Os arquivos de relatórios têm um tamanho razoável para facilitar a troca de dados por e-mail.

> Saiba mais sobre o software PRECiV

Design avançado para apoiar a conformidade da sala limpa

A série MX63 foi concebida para funcionar em uma sala limpa e possui recursos que ajudam a minimizar o risco de contaminar ou danificar as amostras. O sistema tem um design ergonômico que ajuda a manter os usuários confortáveis, mesmo durante o uso prolongado. A série MX63 está em conformidade com as especificações e normas internacionais, incluindo SEMI S2/S8, CE e UL.

Integração opcional do carregador de wafer – Sistema AL120*

Um carregador de wafers opcional pode ser acoplado à série MX63 para transferir de maneira segura wafers semicondutores compostos e de silício desde um cassete para a platina do microscópio sem usar pinças ou garras. O desempenho e a credibilidade renomados permitem inspeções macro frontais e traseiras, enquanto o carregador ajuda a melhorar a produtividade no laboratório.

MX63 com o carregador de wafers AL120 (versão de 200 mm)

*O AL120 não está disponível na região EMEA (Europa, Oriente Médio e África).

Inspeções rápidas e limpas

A série MX63 oferece inspeções de wafers sem contaminação. Todos os componentes motorizados estão alojados em uma estrutura blindada, e o processamento antiestático é aplicado à estativa do microscópio, tubos de observação, proteção respiratória e outras peças. A velocidade de rotação dos porta-objetivas motorizados é maior e mais segura que dos porta-objetivas manuais, o que diminui o tempo entre inspeções e mantém as mãos do operador abaixo do wafer, reduzindo o potencial de contaminação.

Sistema projetado para realizar observações eficientes

A platina XY é capaz de realizar movimentos grossos e finos da platina graças à combinação de uma embreagem incorporada e os botões XY. A platina ajuda a realizar observações eficientes, mesmo para amostras grandes, como wafers de 300 mm.
O longo alcance do tubo de observação inclinável permite que os operadores se sentem diante do microscópio em uma postura confortável.

Aceita todos os tamanhos de wafer

Controles intuitivos do microscópio: confortáveis e fáceis de usar

As configurações de microscópio são simples de operar, facilitando a realização de ajustes e reprodução de configurações do sistema para os usuários.

Localize o foco rapidamente: auxílio de foco

Inserir um auxílio de foco na trajetória óptica permite uma focagem fácil e precisa de amostras de baixo contraste, como wafers lisos.

Imagem esquerda: a grade indica que a imagem está fora de foco. /Imagem central: a grade ajuda na focagem. /Imagem direita: é possível obter uma imagem em foco facilmente.

Restaure facilmente as configurações do microscópio: hardware codificado

As funções codificadas integram as configurações de hardware da série MX63 com o software de análise de imagens PRECiV. O método de observação, a intensidade de iluminação e o aumento são registrados automaticamente pelo software e armazenados em conjunto com as imagens associadas. Visto que as configurações podem ser facilmente reproduzidas, qualquer operador pode realizar inspeções com a mesma qualidade e treinamento mínimo.

Controles ergonômicos para uma operação mais rápida e confortável

Os controles para trocar a objetiva e ajustar o diafragma de abertura estão posicionados na parte inferior frontal do microscópio para que os usuários não precisem largar os botões ou mover a cabeça das oculares durante o uso.

Observações mais rápidas com o Gerenciador da intensidade de luz e Controle de abertura automático

Em microscópios normais, os usuários precisam ajustar a intensidade de luz e a abertura em todas as observações. A série MX63 permite que usuários configurem a intensidade de luz e as condições de abertura para diferentes ampliações e métodos de observação. Essas configurações podem ser recuperadas facilmente, ajudando a economizar o tempo dos usuários e a manter a melhor qualidade de imagem.

Gerenciador de intensidade de luz

Controle de abertura automático

Completamente personalizável

A série MX63 foi projetada para permitir que o cliente escolha uma variedade de componentes ópticos para atender às necessidades de inspeção e aplicação individuais. O sistema pode usar todos os métodos de observação. Os usuários também podem escolher entre uma variedade de pacotes de análise de imagens PRECiV para atender às necessidades individuais de aquisição e análise de imagens.

Dois sistemas acomodam diversos tamanhos de amostra

O sistema MX63 pode acomodar wafers de até 200 mm, enquanto o sistema MX63L pode lidar com wafers de até 300 mm com a mesma área reduzida que o sistema MX63. O design modular facilita a personalização do microscópio para seus requisitos específicos

Compatibilidade com IV

A observação de infravermelho pode ser realizada com as lentes objetivas de infravermelho, o que permite que os operadores inspecionem de forma não destrutiva a parte interna dos chips de CI embalados e montados em uma placa de circuito impresso usando as características do silício que transmite a luz infravermelha. As objetivas de IV 5X a 100X estão disponíveis com correção de aberração cromática de comprimentos de onda de luz visível através do infravermelho próximo.Especialmente com uma lente objetiva de 20X ou mais, a aberração causada pela camada de silicone que cobre o objeto de observação pode ser corrigida pelo colar de correção para obter uma imagem mais clara.

A série MX63 é usada em uma variedade de aplicações de microscopia de luz refletida. Essas aplicações são um exemplo de algumas das formas que o sistema é usado para inspeções industriais.

Imagem de infravermelho de uma seção de eletrodo

O infravermelho (IV) é usado para procurar defeitos no interior de chips de circuitos integrados e de outros dispositivos fabricados com silício sobre vidro.

Película
(esquerda: campo claro/direita: luz polarizada)

A luz polarizada é usada para revelar a textura de um material e o estado dos cristais. Ela é adequada para inspeções de estruturas de wafer e de LCD.

Um disco rígido
(esquerda: campo claro/direita: DIC)

O contraste de interferência diferencial (DIC) é usado para ajudar a visualizar amostras com diferenças mínimas de altura. Ele é ideal para inspeções de amostras com diferenças de altura muito pequenas, como cabeçotes magnéticos, mídias de disco rígido e wafers polidos.

Padrão do circuito integrado em um wafer semicondutor
(esquerda: campo escuro/direita: MIX [campo claro + campo escuro])

O campo escuro é usado para detectar arranhões ou defeitos ínfimos em uma amostra ou inspecionar amostras com superfícies espelhadas, tal como wafers. A iluminação MIX permite ao usuário visualizar padrões e cores.

Resíduo fotorresistente em um wafer semicondutor
(esquerda: fluorescência/direita: MIX [fluorescência + campo escuro])

A fluorescência é usada para amostras que emitem luz quando iluminadas por um cubo de filtro especialmente projetado. Ela é usada para detectar contaminação e resíduos fotossensíveis. A iluminação MIX permite a observação dos resíduos fotossensíveis e do padrão do CI.

Um filtro de cores LCD
(esquerda: luz transmitida/direita: MIX [luz transmitida + campo claro])

Esta técnica de observação é adequada para amostras transparentes, tal como LCDs, plásticos e materiais de vidro.A iluminação MIX permite a observação do filtro de cor e do padrão do circuito.