Специальные инфракрасные (ИК) линзы объектива являются готовым решением для визуализации в ближнем ИК-спектре
Стандартный протокол анализа неисправностей микроэлектронных компонентов требует наличия возможности неразрушающего контроля рельефа микросхем через кремниевый слой с сохранением механической целостности готового изделия. Неинвазивные методики, такие как микроскопия в ближнем ИК-спектре, позволяют выполнить контроль непосредственно через кремниевый слой толщиной до 650 мкм. К контролю с применением данной методики относятся: контроль коротких замыканий в контуре изделия (следы разгара, индикаторы напряжения и т. д.), совмещение заземляющих перемычек (анализ меток совмещения между слабо соединенными контурами), проверка после электроиспытания (на любые типы сбоев) и анализ повреждений чипа (дефекты материалов, загрязнения и пр.).
Для выполнения задач по оценке дефектов, созданию отчетов и архивированию изображений многим научно-исследовательским и аналитическим лабораториям требуются современные цифровые решения. В виду характерных особенностей исследуемых данным методом анализа изделий их естественная контрастность минимальна, и должна быть оптимизирована посредством программного обеспечения для анализа изображений. Функция неравномерного освещения создает эффект виньетирования или затемнения от углов изображения к центру, которые необходимо устранять с изображений в реальном времени и захваченных изображений. В то время как микроскопия с применением отраженного света идеально подходит для освещения образца сверху, метод микроскопии с применением проходящего ИК-света предназначен для пропускания пучка света снизу образца через кремниевый слой, тем самым обеспечивая усиленный контраст.Таким образом, проходящий свет особенно полезен для проведения оценки совмещения рельефов или анализа меток совмещения сквозь кремниевый слой.
Комплексная цифровая система с освещением в ближнем ИК-спектре
Наши специализированные ИК линзы объектива серии UIS2 представляют собой готовое решение для выполнения цифровой визуализации в ближнем ИК-спектре. Новейшее поколение специализированных линз объектива для ближнего ИК-спектра серии UIS2 обеспечивают лучшую пропускаемость света в ближнем ИК-спектре, а также предоставляют возможность использования коррекционных муфт (с линзами объективов 20х, 50х и 100х) для конкретной толщины кремниевого слоя, максимизируя светопропускаемость и качество анализа. Цифровая камера Olympus XM10-IR обеспечивает получение высококонтрастных изображений во всем ближнем ИК спектре с длиной волны до 1100 нм, сохраняя при этом широкое поле обзора благодаря большой 2/3-дюймовой ПЗС-матрице. ПО для анализа изображений OLYMPUS Stream® предоставляет полный контроль управления камерой XM10-IR, в отличие от других решений для ИК-визуализации, позволяя выполнять коррекцию теней в реальном времени для достижения максимальной однородности качества изображения во всем поле обзора. Кроме того, пользователь может с легкостью установить максимальный уровень контрастности как на изображении в реальном времени, так и на захваченных ИК-изображениях. ПО OLYMPUS Stream также предоставляет возможность выполнять точные измерения в любой точке в пределах поля обзора, после чего автоматически создает отчеты и архивирует изображения и связанные данные.
Наше комплексное решение, которое идеально подходит для проведения высокоточной цифровой визуализации в ближнем ИК-спектре и выполнения анализа образца через кремниевый слой, включает в себя следующие компоненты:
- Прямой составной ИК микроскоп (серии BX) или специализированный составной ИК микроскоп для оптического контроля структур (серии MX) (ИК микроскопы серии MX позволяют одновременно выполнять ИК-наблюдение с отраженным и проходящим светом)
- Линза объектива UIS2-IR
- Высокочувствительная цифровая камера XM10-IR FireWire с ПЗС-матрицей 1,4 Мп
- Программное обеспечение для анализа изображений OLYMPUS Stream
Начните получать результаты без задержек
Наша полноценная цифровая система с освещением в ближнем ИК-спектре обеспечивает получение высококачественных изображений поверхности образца под кремниевым слоем, позволяет выполнять точные измерения, создавать исчерпывающие отчеты, а также архивировать изображения — и все это без малейших нарушений целостности готового изделия. Кроме того, благодаря использованию цифрового датчика ближнего ИК-спектра, исключаются характерные запаздывания изображений и задержки, связанные с использованием аналоговой трубочной видеокамеры с сульфидом свинца. Одно из главных преимуществ этого решения — простота эксплуатации: даже пользователи, имеющие лишь базовые знания в области микроскопии и визуализации, могут немедленно приступить к получению результатов.
Изображения, полученные с помощью разнообразных линз объектива серии UIS2-IR, прямого составного микроскопа BX2M-IR, цифровой камеры XM10-IR и ПО OLYMPUS Stream:
 |
| Линза объектива 10x UIS2-IR |
 |
| Линза объектива 20x UIS2-IR |
 |
| Линза объектива 50x UIS2-IR |
 |
| Линза объектива 100x UIS2-IR |
