Olympus разработала собственный оптический сканер.

Новый МЭМС-сканер позволяет выполнять высокоточное двухплоскостное (X-Y) сканирование с низким уровнем искажений развертки и минимальными оптическими аберрациями. В некоторых лазерных микроскопах неизбежны колебания значений при измерении периферийных зон. Микроскоп OLS5000 гарантирует стабильные результаты, вне зависимости от того, измеряется ли центр или периферия поля обзора.