Области применения
Структура ИС на полупроводниковой пластинеРежим темного поля используется для выявления мельчайших царапин или дефектов на образце или для исследования образцов, имеющих зеркальные поверхности, например, полупроводниковых пластин. В режиме смешанного освещения (MIX) пользователь может исследовать фактуры и цвета образцов. |
MIX (светлое поле + темное поле) |
Темное поле |
|---|
Флуоресценция |
MIX (флуоресценция + темное поле) | Остаточный фоторезист на полупроводниковой пластинеРежим флуоресценции используется для образцов, которые излучают свет при их освещении с помощью специализированного фильтровального куба. Используется для обнаружения загрязнений и остаточного фоторезиста. Смешанный режим позволяет проводить исследование остаточного фоторезиста и структуры ИС. |
|---|
Цветной светодиодный фильтрТакой метод наблюдения подходит для прозрачных образцов, таких как светодиоды, пластиковые и стеклянные материалы. Смешанный режим позволяет проводить исследование цвета фильтра и рельефа съем. |
Проходящий свет |
MIX (проходящий свет + светлое поле) |
|---|
Светлое поле |
Дифференциально-интерференционный контраст (ДИК) | Чугун с шаровидным графитомДИК — это метод наблюдения, при котором возвышенности на образце отображаются в виде рельефа, аналогично 3D-изображению с улучшенным контрастом; этот метод идеально подходит для исследования образцов, имеющих минимальные перепады высот, в том числе микроструктур и минералов. |
|---|
СерицитДифференциально-интерференционный контраст (ДИК) — метод наблюдения, при котором высота образца, обычно не определяемая в светлом поле, отображается в виде рельефа, аналогично 3D-изображению с улучшенным контрастом. Идеально подходит для исследования образцов, имеющих минимальные перепады высот, в том числе микроструктур и минералов. |
Светлое поле |
Поляризованный свет |
|---|
Инфракрасный свет (ИК) | Контактные площадки на структуре ИСРежим ИК используется для выявления дефектов внутри кристаллов ИС и других устройств, выполненных из кремния, нанесенного на стекло. |
|---|
