半导体和电子元件制造商在其质量控制流程使用工业显微镜。 显微镜可以用于检测缺陷以及目标规格的偏离,例如:
- PCB中元件的错误定位
- 半导体晶圆上可带来短路风险的导电污染物
- 相机传感器和屏幕上的死像素
显微镜也用于验证这些复杂的元件是否符合国际标准。 在显微镜下观察内存芯片和微处理器半导体的技术细节,可确保彻底、可靠的检查。
质量控制流程不仅成本高,而且耗时。因此,制造商不断在寻求优化其质控方法和提高效率的方式。 选择正确的软件控制质量控制用显微镜,可以极大地提高他们的底线。 其中最重要的是,软件必须易用,并可提高工作流程指导,从而确保可靠的结果和可重复的测量,无论操作员的经验如何。
使用我们的半导体检测解决方案控制质量控制的成本
PRECiV软件可优化多个用户的产品检查流程,不仅可以加快检测速度,而且可以标准化显微镜的操作,从而提高结果的可重复性。 以下是PRECiV软件能够协助您控制质量控制成本的5种方式:
1. 轻松易用的系统缩短了缺陷检测时间
简洁、对用户友好的软件界面让显微镜下的图像采集和数据记录变得更加轻松,即使对无经验的用户来说也是如此。 了解PRECiV软件的高动态范围调整和消除光晕等实时图像增强功能如何简化了高分辨率图像的采集和检查:
基础和高级2D测量工具
PRECiV软件为质量控制检查员提供了直接可用的多种2D计数和测量工具组合。 用于缺陷测量的基础工具包括距离、面积、直径、角度和坐标,另外还有其他高级工具:
- 检测边缘模式,用于快速定义测量起点和终点(使用对比度检测)。
- 关联对象模式,仅需轻轻点击几次即可重复利用现有的测量。
- 导出测量结果按钮,用于直接以所需格式导将结果导出到共享驱动器。
2. 简化了大型半导体和电子元件的完整检查
PRECiV软件提供对兼容显微镜、电动物镜转盘和显微镜相机的集成控制,包括短波红外(SWIR)技术。 它的实时采集工具进一步扩展了您的成像功能,允许您全面检查大型半导体晶圆和电子元件。
自动聚焦的全景图像
采集手动显微镜视野之外的完全聚焦图像只是PRECiV软件增强测量功能的示例之一。 在电动显微镜上,您也可使用即时模式并按一下按钮即可激活以下自动功能:
- EFI(景深扩展图像):获取一个样品的不同高度上的多张焦点面图像并合成一张全聚焦图像。
- 全景:可使您在整个样品上移动载物台,然后再将采集的图像拼接成一张大图像。
- 全景和 EFI:在载物台移动的同时自动重建全景图像。 彩色框指示质量。 如果图像未聚焦,用户可随时重新聚焦图像。
了解具体方法:
组合使用全景图和 EFI 功能以获得大幅全聚焦图像
自上而下半导体检测的多个观察选项
PRECiV软件对用户非常友好,所以检查员仅需略微培训即可使用明场、暗场、MIX(明暗场结合)、偏光成像方式以及微分干涉(DIC)观察方法采集和分析图像。 软件对于第三方SWIR相机的集成控制,也允许用户检查带有SWIR波长范围涂层的光学元件。
3. 优化您的材料测量工作流程
为了标准化和提高检查流程的效率,PRECiV软件提供专用的材料解决方案工作流程。 经验不同的用户都会发现这些步骤不仅直观而且简单:
- 手动测量简单易用,并可在对一系列记录的图像进行测量时重新载入。
- 可以使用辅助工具和自动边缘检测定义复杂的手动测量,以便在两点之间进行可靠的测量。 *
- 专用可选解决方案中的工作流程步骤(例如颗粒分布、相位分析)为更高的可重复性而提供了指导。
*在PRECiV Pro和PRECiV Desktop中提供。
4. 通过连接性提高效率
配备PRECiV工作站的质量控制团队可通过数据的网络共享和设置来优化及标准化其流程:
- 使用每个图像数据文件保存和重新加载图像条件,包括校准信息,这些信息保存在图像(JPEG)文件的标题中。
- 保存测量参数、文件和其他设置(处理、材料解决方案、注释等)后,可在任何PRECiV工作站上调用。
- 定义访问权限,仅允许经授权用户修改系统参数。
5. 实现多用户的整体合规
PRECiV软件支持符合晶圆厂和安全策略的多用户环境。 它的自动功能有助于确保显微镜的所有校准和测量都按国际制造规程执行,从而避免操作员的人为错误。
- 使用一个经校准具备可追溯的测微台尺通过软件的自动倍率校准功能来检查光路的校准
- 材料解决方案套装可引导用户完成符合国际标准的从图像采集到导出报告的工作流程。
- 可将所有测量分析导出到Excel文件(直接保存文件)或直接导出到报告。
PRECiV软件是一个模块化的解决方案,可进一步扩展以满足未来的更多需求。 请访问www.olympus-ims.com/microscope/preciv/以了解可用的不同软件包,或联系您本地的奥林巴斯代表以了解详细信息。
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