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STM6-LM显微镜拥有亚微米级的精度,实现了优异的通用性,可对各种零部件和电子元件进行高性能的三轴测量。低倍率选项使之成为精密工具制造者的理想选择。
快速测量大型样品
充分利用空间的电气系统一体型机体
![电气系统一体型机体](https://static4.olympus-ims.com/data/Image/IM/measuring/image001.jpg?rev=A248) 电气系统一体型机体 |
着重考虑了仪器的空间利用性和操作方便性,在机体内组装了电气系统,实现了计数器一体型机体。此外,在机体上内置了RS232C数据通信接口,向电脑传送数据和连接打印机等外部设备变得更加容易。不仅如此,还可以使用表计算软件,将电脑读取的数据存到数据库。
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带离合器的大型载物台,能够快速进行大范围检查
![带离合器的大型载物台](https://static1.olympus-ims.com/data/Image/IM/measuring/image002.jpg?rev=A248) 带离合器的大型载物台 |
搭载了250 mm×150
mm大测量范围的载物台。X、Y轴的驱动装置采用了离合器控制机构,只使用一个控制杆就能快速切换粗调和微调。载物台的随意伸缩,实现了大型样品的快速检查。另外,还可以在载物台上放置多个样品从而进行连续测量。
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高精度和耐用性
历经时间考验的高刚性机体和载物台
![FEM分析](https://static5.olympus-ims.com/data/Image/IM/measuring/image003.jpg?rev=A248) FEM分析 |
刚性对于测量仪器的精度保持是最重要的,为了长时间维持仪器的精度不变,奥林巴斯开发出了坚固、不变形的高度刚性机体和载物台。在导轨上采用了能得到高直度的线性引导机构,还内置了独创的光栅尺,确保了仪器精度的可靠性。
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光栅尺实现了亚微米级的分辨率
![光栅尺](https://static1.olympus-ims.com/data/Image/IM/measuring/image004.jpg?rev=A248)
光栅尺 |
光栅尺的精度直接影响测量显微镜的精度。奥林巴斯采用独创的高精度光栅尺读取系统将光学信息转化为电信息来准确测量。此外,奥林巴斯还根据阿贝定理(需要测量的长度和标尺,在其测量方向上并排成一条直线时,误差最小)确定标尺的内置位置,最大程度的减少了误差。
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国际标准的溯源体系
为了实现高精度的产品质量,从制造到装配的每一个阶段,奥林巴斯都配备了日本国内一流的生产环境。在管理严格的恒温工厂中,技能娴熟的员工精密加工仔细挑选的原材料,精心打造每一件产品。此外,从零部件到成品,所有的生产步骤都实行了严格的溯源体系管理。
![测量显微镜溯源体系图](https://static3.olympus-ims.com/data/Image/IM/measuring/image005.zh.gif?rev=7DC1)
测量显微镜溯源体系图
注重操作性的机体设计
快速完成Z轴测量的电动调焦机构
采用了电动调焦机构,大幅度提高了调焦和测量高度、深度时的操作性能。使用Z控制器可以轻松切换粗调和4个级别的微调(800、400、200、50
μm),在很大程度上减轻了工作疲劳。
![Z轴控制器](https://static2.olympus-ims.com/data/Image/IM/measuring/image006.jpg?rev=902E) Z轴控制器 | - 电动调焦按钮(上下移动)
- 自动对焦按钮
- 设置按钮,用于设置上限和下限
- 停止自动对焦按钮
- Z轴重设按钮
- 调焦手柄
- 数据输出按钮
- 粗调/微调转换按钮
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配置在易于观察位置上的计数器
![计数器](https://static5.olympus-ims.com/data/Image/IM/measuring/image007.jpg?rev=4F02) 计数器 |
计数器与显微镜机身一体化,它的显示器部分与观察员的视线几乎等高,易于观察。稍微移动视线就可以确认测量值,便于集中精神观察样品、调节样品位置。
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提高边缘检测能力、外观检查能力的UIS2光学系统和LED照明
采用了有着高分辨率和高对比度的UIS2光学系统,以及能真实的再现样品色彩、并且色调不受照明亮度影响的LED照明。这种设计大幅度提高了边缘的可见性和测量能力、外观检查能力。此外,LED照明不会出现灯光闪烁不定和亮度变化,能减轻长时间工作时的眼部疲劳。
![白色LED](https://static4.olympus-ims.com/data/Image/IM/measuring/image008.jpg?rev=4F02) 白色LED | ![卤素灯](https://static4.olympus-ims.com/data/Image/IM/measuring/image009.jpg?rev=4F02) 卤素灯 |
考虑了人眼分辨能力的米字线,使位置调节变得简单
![米字线](https://static5.olympus-ims.com/data/Image/IM/measuring/image010.jpg?rev=504E) 米字线 |
在测量显微镜中如何正确的对准测量物体和米字线是很重要的。直线校准时,与使用一根直线相比,使用米字线和虚线能得出更为正确的结果。奥林巴斯分析了人眼的这种特性和人眼的分辨能力,在焦面板上加入米字线和虚线,提高了对准的精度。
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重复性好的调焦系统
易于追加的高精度自动调焦系统
搭载了一键对焦和跟踪对焦两种模式。需要谨慎而细密的操作才能完成的目视测量高度和深度,通过灵活运用操作模式可以实现自动化。这样,不仅消除了因个人差异产生的偏差,还能够手不离开XY手柄完成观察,大幅度提高了Z轴测量的效率。而且,因为属于中间镜筒类型,所以能够购买之后续订安装。
【一键对焦模式】
在粗略对焦状态下进行自动调焦,能在一瞬间将焦点对准视场中心。
【追踪对焦模式】
在追踪焦点位置的同时,始终保持对准焦点的状态。测量时不需要重新调焦,提高了工作效率。
不同物镜的自动调焦性能一览表
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物镜
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再现性能(2σn-1)※1 |
点直径※2 |
LMPLFLN20×
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2µm
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ø5µm
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LMPLFLN50×
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1µm
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ø2µm
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LMPLFLN100×
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1µm
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ø1µm
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*1 本公司标准样品得出的值。
*2 计算得出的理论值。
只要将图标的偏离对齐,就能高精度测量样品高度的辅助聚焦系统
用于10×~50×物镜,对应反射明视场和反射暗视场观察。通过对齐投影在样品上的图标上下偏移,完成对高度的测量。与目视对焦相比,提高了重复性,减小了因个人差异产生的测量偏差。能对应多种样品的图标易于对焦,大幅度缩短了测量时间。
扩展观察和测量范围的附件
反射照明单元
![反射照明单元](https://static2.olympus-ims.com/data/Image/IM/measuring/image014.jpg?rev=A933) 反射照明单元 |
备有3种反射照明单元,能对应多种测量范围。对应测量物镜和使用物镜转换器的金相物镜,可以用于明视场、暗视场和微分干涉观察。可以根据用途追加单元,升级系统。
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旋转载物台
![旋转载物台](https://static3.olympus-ims.com/data/Image/IM/measuring/image015.jpg?rev=14A4) 旋转载物台 |
易于对样品进行平行校准。
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白色LED照明单元
![白色LED照明](https://static3.olympus-ims.com/data/Image/IM/measuring/image016.jpg?rev=14A4) 白色LED照明 |
白色LED光源不会出现灯光闪烁不定和亮度变化,寿命长、省电、小型轻巧、性价比高。
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可以分为4个独立照明的LED照明装置
![可以分为4个独立照明的LED照明装置](https://static4.olympus-ims.com/data/Image/IM/measuring/image017.jpg?rev=14A4) 可以分为4个独立照明的LED照明装置 |
以高色温提供清晰影像的反射LED环形照明。可以分为4个独立的照明部分。共有13种照明模式,可以按需选择最合适的照明模式。
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使用数码照相机记录和保存数码影像
三目镜筒可以安装数码照相机。可以保存和记录数码影像,帮助创建观察报告。可依据用途从图像质量、功能、使用方便性等方面选择数码照相机。
> 点击这里查阅数码照相机产品
实现更高级测量的系统
搭载了多种功能的运算装置
![运算装置](https://static3.olympus-ims.com/data/Image/IM/measuring/image018.jpg?rev=14A4) 运算装置
*MM6-CAL22在部分地区不销售。
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无需对样品和载物台进行平行校准,将样品放入载物台后能立即开始测量。只要输入点数据就能进行2维运算处理,并在显示器上显示测量中的校准项目和测量项目的说明。测量结果由内置打印机输出
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