轮廓法
轮廓法（线粗糙度）参数
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幅度参数（峰和谷） |
最大高度（Rz）表示一个取样长度内最大轮廓峰高Zp与最大轮廓谷深Zv之和。
Pz 原始轮廓的最大高度
要点 |
（以粗糙度轮廓为例） |
最大轮廓峰高 (Rp)一个取样长度内最大的轮廓峰高Zp。 Pp 原始轮廓的最大峰高
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（以粗糙度轮廓为例） |
最大轮廓谷深（Rv）一个取样长度内最大的轮廓谷深Zv。 Pv 原始轮廓的最大谷深
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（以粗糙度轮廓为例） |
平均高度（Rc）一个取样长度内轮廓单元高度Zt的均值。
最小高度区分：Rz值的10％
Pc 原始轮廓单元的平均高度
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（以粗糙度轮廓为例） |
总高度（Rt）在评定长度（非取样长度）内最大轮廓峰高Zp与最大轮廓谷深Zv之和。
Pt 原始轮廓的总高度（在JIS’82中为Rmax）
要点 |
（以粗糙度轮廓为例） |
十点平均粗糙度（Rzjis）一个取样长度内五个最大轮廓峰高的平均值和五个最大轮廓谷深的平均值之和。
要点 |
（以粗糙度轮廓为例） |
幅度平均参数 |
算术平均偏差（Ra）一个取样长度内的纵坐标Z(x)绝对值的算数平均值。 Pa 原始轮廓的算数平均偏差
要点 |
（以粗糙度轮廓为例） |
均方根偏差（Rq）一个取样长度内Z(x)的均方根值。 Pq 原始轮廓的均方根偏差
要点 |
（以粗糙度轮廓为例） |
偏斜度（Rsk）一个取样长度内Z(x)三次方的平均值与Rq的三次方的比值。
Rsk = 0 ：相对于中线对称（正态分布）
Psk 原始轮廓的偏斜度
要点 |
（以粗糙度轮廓为例） |
陡峭度（Rku）一个取样长度内Z(x)四次方的平均值与Rq四次方的比值。
Rku=3:正态分布
Pku 原始轮廓的陡峭度
要点 |
（以粗糙度轮廓为例） |
间距参数 |
平均宽度（RSm）一个取样长度内轮廓单元宽度Xs的平均值。
最小高度区分：Rz值的10％
Psm 原始轮廓单元的平均宽度
要点 |
（以粗糙度轮廓为例） |
混合参数 |
均方根斜率（Rdq）一个取样长度内纵坐标斜率dz/dx的均方根值。 Pdq 原始轮廓的均方根斜率
要点 |
（以粗糙度轮廓为例） |
支承长度率曲线和相关参数 |
支承长度率曲线和概率密度曲线
支承长度率曲线表示轮廓支承率随水平位置c而变的关系曲线，其中，c代表特定样品的分离高度。其也被称为Abbott曲线。
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（以粗糙度轮廓为例） |
支承长度率（Rmr(c)）在给定水平位置c(%或μm）上，轮廓的实体材料长度Ml(c)与评定长度的比率。 Pmr (c) 原始轮廓的支承长度率（原来的tp）
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（以粗糙度轮廓为例） |
轮廓截面高度差（Rdc）Rdc表示在给定支承比率的两个水平截面之间的垂直距离。 Pdc 原始轮廓的截面高度差
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（以粗糙度轮廓为例） |
相对支承比率（Rmr）Rmr表示由参考水平截面C0和轮廓水平截面之间的差Rδc确定的相对支承比率。 Pmr 原始轮廓的相对支承比率
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（以粗糙度轮廓为例） |
具有复合加工特征表面的参数 |
具有复合加工特征表面的参数
Rk、Mr1和Mr2值由梯度最小的相当于40%的支承率曲线的分割线（线性曲线）计算得出。
Rk 核心粗糙度深度
要点 |
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图形参数 |
图形参数图形参数用于评估基于样品表面包络特征的表面接触状态。 AR 粗糙度图形的平均间距：在评定长度内，粗糙度图形ARi的算术平均值
要点 |
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区域法
区域法参数
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高度参数 |
最大高度（Sz）
该参数将轮廓（线粗糙度）参数Rz扩展到三维。
要点 |  |
最大峰高（Sp）
该参数将轮廓（线粗糙度）参数Rp扩展到三维。
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最大谷深（Sv）
该参数将轮廓（线粗糙度）参数Rv扩展到三维。
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算术平均高度（Sa）该参数将轮廓（线粗糙度）参数Ra扩展到三维。 表示一个定义区域内绝对坐标Z (x, y)的算术平均值。 要点 |  |
均方根高度（Sq）该参数将轮廓（线粗糙度）参数Rq扩展到三维。表示一个定义区域内Z(x, y)的均方根值。 要点 |  |
偏斜度（Ssk）该参数将轮廓（线粗糙度）参数Rsk扩展到三维; 参数Rsk，用于评估高度分布偏差。
Ssk=0: 相对于中线对称
要点 |  |
陡峭度（Sku）该参数将轮廓（线粗糙度）参数Rku扩展到三维; 参数Rku，用于评估高度分布锐利度。
Sku=3: 正态分布
要点 |  |
空间参数 |
自相关长度（Sal）自相关函数衰减到一个规定值s(0≤s＜1）的最短距离。除非另有说明，该参数指定为= 0.2。 结构方位比（Str）自相关函数衰减到一个规定值s(0≤s＜1）的最短距离与最长距离的比值。代表表面的各向同性/各向异性的强度。 Str的取值范围为0至1; 通常Str> 0.5表示强各向同性，而Str<0.3表示强各向异性。 要点 |  |
混合参数 |
均方根梯度（Sdq）
该参数将轮廓（线粗糙度）参数Rdq扩展到三维。
要点 |  |
展开表面面积比（Sdr）表示表面面积增加的比率。增加率由投影面积A0导出的表面面积A1计算得出 。 要点 |  |
功能和相关参数 |
该参数将轮廓参数的支承长度率曲线参数（Rk, Rpk, Rvk, Mr1, 和Mr2）扩展到三维。 Sk 核心高度：核心表面上下水平之间的距离
要点
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峰极大高度（Sxp）支承率为p和q时对应的高度差值。除非另有说明，该值应采用P = 2.5％，q = 50％。 支承体积和空体积由支承面积率曲线计算得出，如图中所示。对应于10％和80％支承面积率的位置被视为分割峰点、核心和谷点的阈值。 Vvv 谷区空体积
要点
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其他参数 |
结构方向（Std）该参数表示结构（平行沟槽方向等）的方向角度。其由二维傅里叶变换图像角度频谱最大时的角度得出。 要点 |  |
特征参数 |
峰密度（Spd）即单位面积上峰的数量。只有超过指定大小的峰才进行计数。除非另有说明，指定大小确定为最大高度Sz的5％。 该参数由峰的数量除以投影面积计算得出。 峰曲率的算术平均值（Spc）Spc表示峰的主曲率（平均尖锐度）的算术平均值。只有超过指定曲率的峰才会考虑。 除非另有说明，指定大小确定为最大高度Sz的5％。 该参数由定义区域内的曲率的算术平均值得出。 要点 |  |
表面的十点高度五个最大峰高平均值与五个最大谷深平均值的和。 五点峰高（S5p）五个最大峰高的平均值。 五点谷深（S5v）五个最大谷深的平均值。 |  |