概述

AL120晶圆输入器系列可快速、安全地将硅和化合物半导体晶圆从晶圆匣转移到显微镜载物台。该晶圆装卸器旨在提高产品检测通量，与我们的MX63半导体显微镜相结合，可组成可靠的晶圆检测解决方案。

精确度和灵活性

可适应多种晶圆尺寸的晶圆装卸和检测

适应不同晶圆尺寸的能力是扩建晶圆生产设施的关键。AL120系列根据晶圆直径分为三种型号：200 mm型号、150 mm和200 mm可转换型号以及适用于150 mm或以下晶圆尺寸的150 mm型号。每种系统均针对晶圆传输和显微镜检测而设计。顶面和背面宏观检测也可用于所有晶圆尺寸。
AL120晶圆尺寸和厚度型号图表
晶圆尺寸和厚度

支持薄晶圆装卸和检测

为了满足薄晶圆制造商的需求，AL120-LMB-90型号的撑臂设计可以装卸一整匣90 µm晶圆。

得心应手

增强型半导体晶圆宏观检测

具有360度旋转功能的宏观检测（模拟）

360度自旋转功能可对晶圆的顶面和背面进行完整的宏观检测，从而轻松识别缺陷和尘埃。
内置操纵杆控制顶面宏观检测期间晶圆的倾斜。操作员可以调整晶圆的角度以优化检测结果。

晶圆装卸轻而易举

为了满足不同检测例行程序的需求，AL120晶圆输入器采用配方驱动，包含10种可编程系统配置，这些配置包括特定晶圆匣类型、晶圆规格和传输速度。快按按钮选择让操作员可以瞬时装载不同的产品。
晶圆装卸器参数和配方设置显示在LCD显示屏上。操作员可以在检测前后确认例行程序和结果。
AL120晶圆输入器提供非接触式光学对中和缺口/平面检测和校直。这些功能减少了晶圆与设备之间的接触，从而提高了晶圆清洁度。

性能可靠

在整个晶圆传输过程中尽量提高晶圆安全性

AL120的设计包括的先进功能可尽量提高晶圆安全性。三传感器系统持续监控晶圆位置，以确保安全妥善地完成晶圆的取回、传输、装载和卸载。这些功能可防止将多于一个晶圆装载到插槽中以及意外的跨槽拾取而造成的损坏。

适用于半导体晶圆观察的可靠显微镜平台

AL120晶圆输入器与我们的MX系列专用晶圆检测显微镜连接，可在采用包括明场、暗场、微分干涉对比（DIC）和近红外（NIR）等一系列观察方法时提供杰出的图像分辨率和清晰度。电动物镜转换器和孔径光阑采用联锁设计，从而让每个物镜透镜都能实现优化的照明和对比度。晶圆装卸器也可以通过特别定制适应其他显微镜型号。

可提高操作员舒适度和工作效率的符合人体工程学的载物台选件

速释手动真空载物台优化了操作员的舒适度和效率。X-Y控制和晶圆旋转是标准配置。
电动载物台*让检测过程的自动化更进一步，它可通过操纵杆或通过预编程例行程序进行控制。可一键式驱动载物台往返于装载/卸载位置和归位位置。

*电动载物台在某些区域可能并未推出。

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规格

AL120晶圆输入器规格^*1
		200 mm类型	200 mm/150 mm可转换类型		150 mm类型
		AL120- LMB8- 90	AL120- LMB86- 180	AL120- LMB8	AL120- LMB6- 150	AL120- L6- 150
晶圆尺寸（SEMI标准）		200 mm	200 mm/150 mm		150 mm/ 125 mm/ 100 mm
最小晶圆厚度		90 µm	180 µm	400 µm	150 µm
晶圆匣类型		SEMI标准25 (26)-插槽
晶圆匣数量		1
检测配方		全部/抽样
检测序列	微观（显微镜）	是	是	是	是	是
	顶面宏观检查	是	是	是	是
	背面宏观检查	是	是	是	是
	第2背面宏观检查	是	是	是	是
晶圆方向（每90°）		非接触式（O.F./缺口）			非接触式（O.F.）
兼容显微镜型号		适用于半导体和平板显示器的MX63检测显微镜
尺寸（mm）		仅主体为640（宽）x 620（深）x 378（高），带显微镜为1100（宽）x 620（深）x 378（高）			仅主体为570（宽）x 620（深）x 401（高），带显微镜为983（宽）x 620（深）x 401（高）
重量（kg）（仅主体）		44	44	44	40	37
功用（功率消耗/真空）		AC100 V - 120 V，1 A，或AC 220 V - 240 V，0.5 A 50/60 Hz，-67至-80 kpa，20升/分或更高