概述

高级的显微观察结合便捷的显微操作 BX3M系列以模块化为设计理念，为各种材料科学和工业应用提供了多功能性。通过改进与PRECiV软件的集成，BX53M为标准显微镜和数字成像用户提供了从观察到报告创建的无缝工作流程。体验BX53M

高级的显微观察结合便捷的显微操作

BX3M系列以模块化为设计理念，为各种材料科学和工业应用提供了多功能性。通过改进与PRECiV软件的集成，BX53M为标准显微镜和数字成像用户提供了从观察到报告创建的无缝工作流程。

	选择最适合的型号六种BX53M推荐配置，使您可以灵活选择所需功能。常规用途：入门型、标准型、高级型专业用途：荧光、红外、偏光多种配置满足用户需求模块化设计：依照您的意愿打造您的系统了解更多信息

选择最适合的型号

六种BX53M推荐配置，使您可以灵活选择所需功能。

常规用途：入门型、标准型、高级型
专业用途：荧光、红外、偏光
多种配置满足用户需求
模块化设计：依照您的意愿打造您的系统

舒适且使用方便借助精心设计且易于使用的控件，BX53M简化了复杂的显微镜检查任务。用户无需进行深入培训即可充分使用显微镜功能。BX53M简单、舒适的操作方式通过最大限度减少人为错误而提高了可重复性。简易照明器直观的显微镜控件快速找到焦点均匀一致的照明简便且符合人体工学的操作方式轻松恢复显微镜设置基本测量功能了解更多信息

舒适且使用方便

借助精心设计且易于使用的控件，BX53M简化了复杂的显微镜检查任务。用户无需进行深入培训即可充分使用显微镜功能。BX53M简单、舒适的操作方式通过最大限度减少人为错误而提高了可重复性。

简易照明器
直观的显微镜控件
快速找到焦点
均匀一致的照明
简便且符合人体工学的操作方式
轻松恢复显微镜设置
基本测量功能

	功能齐全 BX53M保持了传统显微镜检查的传统对比方法，如明场、暗场、偏光和微分干涉对比。随着新材料的开发，使用标准相衬方法探测缺陷时遇到的许多困难都可以通过采用先进的显微镜技术来解决，从而实现更准确、更可靠的检测。PRECiV图像分析软件中用于图像采集的新照明技术和选项为用户评估其样品和记录结果提供了更多选择。构建全对焦图像轻松移动全景载物台亮区和暗区均可采集可根据观察和分析偏好进行调整适用于各种样品了解更多信息

功能齐全

BX53M保持了传统显微镜检查的传统对比方法，如明场、暗场、偏光和微分干涉对比。随着新材料的开发，使用标准相衬方法探测缺陷时遇到的许多困难都可以通过采用先进的显微镜技术来解决，从而实现更准确、更可靠的检测。PRECiV图像分析软件中用于图像采集的新照明技术和选项为用户评估其样品和记录结果提供了更多选择。

构建全对焦图像
轻松移动全景载物台
亮区和暗区均可采集
可根据观察和分析偏好进行调整
适用于各种样品

顶尖的光学器件

我们拥有开发高品质光学仪器的悠久历史，创造了多项光学质量的记录，保证了显微镜优异的测量精度。

出色的光学性能
稳定的色温和高强度白光LED照明
支持精确测量
无缝拼接

配置

非常可靠的模块化系统

六种BX53M推荐配置，使您可以灵活选择所需功能。

通用			专用

入门型使用基本功能轻松设置	标准型简单易用，带有全面升级	高级型支持多种高级功能	荧光非常适合荧光观察	红外旨在采用红外观察技术检测集成电路	偏光用于观察双折射特性
_{LCD彩色滤光片} ^{（透射/BF）}	_{含铁素体晶粒的} ^微观结构 ^{（反射光/DF）}	_铜线圈 ^{（BF + DF/MIX）}	_{IC图案上的涂层} ^{（FL + DF/MIX）}	_{硅层IC图案} ^（IR）	_石棉 ^（POL）

见规格表

	入门型	标准型	高级型	荧光	红外	偏光
显微镜机身	反射或反射/透射		反射或反射/透射		反射	透射
标准型	R-BF或T-BF	R-BF或T-BF或DF	R-BF或T-BF或DF或MIX	R-BF或T-BF或DF或FL	R-BF或IR	T-BF或POL
选配件	DIC	DIC/MIX	DIC	DIC/MIX	－	－
简易照明器	－			－	－	－
孔径图例	－				－
编码硬件	－				－
焦点标尺索引
光强度管理器				－	－
手控开关操作					－	－
MIX观察					－	－
物镜	根据应用从3种物镜中进行选择		根据应用从3种物镜中进行选择		用于红外的物镜	用于偏光的物镜
载物台	可根据样品尺寸从5个载物台规格中进行选择		可根据样品尺寸从5个载物台规格中进行选择			用于偏光的载物台

观察方法

R-BF：明场（反射）
T-BF：明场（反射/透射）
DF：暗场
DIC：微分干涉对比/简易偏光
MIX：混合
FL：荧光
IR：红外
POL：偏光

_{*选择反射/透射显微镜机身时，可以使用T-BF。}

：标准型
：选配件

材料科学配置示例

模块化设计可以根据用户的不同需求提供多样化的配置方案。
以下是一些用于材料科学的配置示例。

BX53M反射光和反射光/透射光组合 BX3M系列工业显微镜有两种显微镜机身，一种仅用于反射光，另一种用于反射光和透射光组合。两种机架均可配置手动、编码或电动部件。机架具有防静电（ESD）功能，可保护电子样品。	_{BX53MRF-S配置示例}	_{BX53MTRF-S配置示例}

BX53M反射光和反射光/透射光组合

BX3M系列工业显微镜有两种显微镜机身，一种仅用于反射光，另一种用于反射光和透射光组合。两种机架均可配置手动、编码或电动部件。机架具有防静电（ESD）功能，可保护电子样品。

BX53MRF-S配置示例

_{BX53MRF-S配置示例}

BX53MTRF-S配置示例

_{BX53MTRF-S配置示例}

	BX53M IR组合 IR物镜可用于透过硅材料成像，进行半导体的检测和测量。5倍到100倍的红外（IR）物镜提供了从可见光波长到近红外波长的像差校正。对于高放大倍率的工作，旋转LCPLNIR系列透镜的校正环可校正样品厚度引起的像差。只需一个物镜即可获取清晰的图像。单击此处了解IR物镜的详细信息

BX53M IR组合

IR物镜可用于透过硅材料成像，进行半导体的检测和测量。5倍到100倍的红外（IR）物镜提供了从可见光波长到近红外波长的像差校正。对于高放大倍率的工作，旋转LCPLNIR系列透镜的校正环可校正样品厚度引起的像差。只需一个物镜即可获取清晰的图像。

BX53M偏光组合 BX53M偏光的光学器件为地质学家提供了适合高对比度偏光成像的工具。矿物识别、晶体光学特性研究和固体岩石剖面观察等应用，都可以得益于其系统稳定性和精确的光学对准。	_{BX53-P正交偏光配置}	_{BX53-P锥光镜/正交偏光配置}

BX53M偏光组合

BX53M偏光的光学器件为地质学家提供了适合高对比度偏光成像的工具。矿物识别、晶体光学特性研究和固体岩石剖面观察等应用，都可以得益于其系统稳定性和精确的光学对准。

BX53-P正交偏光配置

_{BX53-P正交偏光配置}

BX53-P锥光镜/正交偏光配置

_{BX53-P锥光镜/正交偏光配置}

用于锥光镜和正像镜观察的勃氏镜有了U-CPA锥光镜观察附件，正像镜和锥光镜观察之间的切换就变得简单而快捷。它可以对焦，以获得清晰的后焦平面干涉图案。勃氏镜的视场光阑可使其获取始终锐利而清晰的锥光图像。

用于锥光镜和正像镜观察的勃氏镜

有了U-CPA锥光镜观察附件，正像镜和锥光镜观察之间的切换就变得简单而快捷。它可以对焦，以获得清晰的后焦平面干涉图案。勃氏镜的视场光阑可使其获取始终锐利而清晰的锥光图像。

	种类丰富的补色器和波长板六种不同的补色器可用于测量岩石和矿物薄片的双折射。测量延迟水平范围为0至20λ。为了便于测量和获得较高的图像对比度，可以使用Berek和Senarmont补色器来改变整个视场的延迟水平。

种类丰富的补色器和波长板

六种不同的补色器可用于测量岩石和矿物薄片的双折射。测量延迟水平范围为0至20λ。为了便于测量和获得较高的图像对比度，可以使用Berek和Senarmont补色器来改变整个视场的延迟水平。

补色器测量范围

补色器	测量范围	主要应用
厚Berek（U-CTB）	0至11,000nm （20λ）	高延迟水平测量（R^*>3λ）（晶体、高分子、纤维等）
Berek（U-CBE）	0至1,640nm （3λ）	延迟水平测量（晶体、高分子、生物体等）
Senarmont补色器（U-CSE）	0至546nm （1λ）	延迟水平测量（晶体、生物体等）图像对比增强（生物体等）
Brace-Koehler补色器 1/30λ（U-CBE2）	0至20nm （1/30λ）	图像对比度测量（活体生物等）
石英楔（U-CWE2）	500至2,200nm （4λ）	延迟水平近似测量（晶体、高分子等）

_{*R = 延迟水平

为了使测量更准确，建议将补色器（U-CWE2除外）与干涉滤光片45-IF546一起使用。}

无应力光学器件

由于奥林巴斯先进的设计和制造技术，UPLFLN-P无应力物镜可将内部应力降至最低。这意味着EF值会更高，从而获得出色的图像对比度。

	BXFM系统 BXFM可以适应特殊应用或集成到其他仪器中。模块化结构，再加上各种特殊的小型照明器和固定装置，可使其直接用于独特的环境和配置。

BXFM系统

BXFM可以适应特殊应用或集成到其他仪器中。模块化结构，再加上各种特殊的小型照明器和固定装置，可使其直接用于独特的环境和配置。

模块化设计，按自己的方式打造自己的系统

显微镜机身

有两款显微镜机身适用于反射光，其中一款还具有透射光功能。提供用于升高照明器的转接器，以容纳更高的样品。

		反射光	透射光	样品高度
1	BX53MRF-S	■	－	0至65 mm
2	BX53MTRF-S	■	■	0至35 mm
1、3	BX53MRF-S + BX3M-ARMAD	■	－	40至105 mm
2、3	BX53MTRF-S + BX3M-ARMAD	■	■	40至75 mm

适合显微镜的便捷配件

－	HP-2	手压装置
－	COVER-018	防尘罩

显微镜机身

架台

对于样品无法安装在载物台上的显微镜应用，可以将照明器和光学器件安装到更大的架台或其他设备上。

BXFM + BX53M照明器配置

1	BXFM-F	机身接口为墙挂式32 mm支柱
2	BX3M-ILH	照明器托架
3	BXFM-ILHSPU	用于BXFM的减震弹簧
5	SZ-STL	大底座

BXFM + U-KMAS照明器配置

1	BXFM-F	机身接口为墙挂式32 mm支柱
4	BXFM-ILHS	U-KMAS托架
5	SZ-STL	大底座

镜筒

使用目镜进行显微镜成像或通过相机观察时，请根据成像类型和操作人员的观察姿势选择镜筒。

		FN	类型	角度类型	图像	屈光度调整机械装置数量
1	U-TR30-2	22	三目镜筒	固定	反向	1
2	U-TR30IR	22	IR用三目镜筒	固定	反向	1
3	U-ETR-4	22	三目镜筒	固定	正像	－
4	U-TTR-2	22	三目镜筒	倾斜	反向	－
5	U-SWTR-3	26.5	三目镜筒	固定	反向	－
6	U-SWETTR-5	26.5	三目镜筒	倾斜	正像	－
7	U-TLU	22	单口镜筒	－	－	－
8	U-SWATLU	26.5	单口镜筒	－	－	－

照明器

照明器会根据所选的观察方法将光线投射到样品上。软件与编码照明器连接，可读取分光镜组件的位置，并自动识别观察方法。

		编码功能	光源	BF	DF	DIC	POL	IR	FL	MIX	AS/FS
1	BX3M-RLAS-S	3个固定式分光镜组件位置	LED - 内置	■	■	■	■	－	－	■	■
2	BX3M-URAS-S	4个可换装的分光镜组件位置	LED	■	■	■	■	－	－	■	■
			卤素灯	■	■	■	■	■	－	■	■
			汞灯/光导装置	■	■	■	■	－	■	■	■
3	BX3M-RLA-S		LED	■	■	■	■	－	－	■	■
3	BX3M-RLA-S		卤素灯	■	■	■	■	■	－	■	■
4	BX3M-KMA-S		LED - 内置	■	－	■	■	－	－	■	－
5	BX3-ARM	透射光观察专用镜臂
6	U-KMAS		LED	■	－	■	■	－	－	■	－
6	U-KMAS		卤素灯	■	－	■	■	■	－	■	－

光源

用于样品照明的光源和电源，为观察方法选择合适的光源。

标准LED光源配置

1	BX3M-LEDR	用于反射光的LED灯箱
2	U-RCV	用于BX3M-URAS-S的DF转换器，必要时需要使用DF和BF进行观察
3	BX3M-PSLED	LED灯箱的电源，需要BXFM系统
4	BX3M-LEDT	用于透射光的LED灯箱

荧光光源配置

5	U-LLGAD	光导装置转接器
2	U-RCV	使用BX3M-URAS-S，DF观察时所需的DF转换接口
6	U-LLG150	光导，长度：1.5 m
7	U-LGPS	用于荧光的光源
8、9	U-LH100HG（HGAPO）	用于荧光的汞灯箱
2	U-RCV	使用BX3M-URAS-S，DF观察时所需的DF转换接口
10	U-RFL-T	用于100W汞灯的电源

卤素灯和卤素IR光源配置

11	U-LH100IR	用于IR的卤素灯箱
12	U-RMT	卤素灯罩延长电缆，电缆长度1.7 m（必要时需要使用延长电缆）
13, 14	TH4-100（200）	100 V（200 V）规格电源，用于100 W/50 W卤素灯
15	TH4-HS	卤素灯光强度手控开关（调光器TH4-100（200），不带手控开关）

物镜转盘

用于物镜和滑块的附件。按所需物镜的数量和类型进行选择；也可以带/不带滑块附件。

		类型	孔位	BF	DF	DIC	MIX	ESD	定心孔数量
1	U-P4RE	手动	4	■		■			4
2	U-5RE-2	手动	5	■
3	U-5RES-ESD	编码	5	■				■
4	U-D6RE	手动	6	■		■
5	U-D6RES	编码	6	■		■
6	U-D5BDREMC	电动	5	■	■	■	■
7	U-D6BDRE	手动	6	■	■	■	■
8	U-D5BDRES-ESD	编码	5	■	■	■	■	■
9	U-D6BDRES-S	编码	6	■	■	■	■	■
10	U-D6REMC	电动	6	■		■
11	U-D6BDREMC	电动	6	■	■	■	■	■
12	U-D5BDREMC-VA	电动	5	■	■

滑块

选择滑块，对传统的明场观察进行补充。采用DIC滑块后，在获取有关样品的立体形貌信息时，可以选择高对比度型或高分辨率型。MIX滑块可在暗场光路中使用分区LED光源，提供了灵活的照明。

DIC滑块

		类型	棱镜裂距大小	适用的物镜
1	U-DICR	标准型	中型	MPLFLN^1、MPLFLN-BD^2、LMPLFLN、LMPLFLN-BD、MXPLFLN、MXPLFLN-BD、MPLAPON和LCPLFLN-LCD

*1 1.25X和2.5X不支持DIC观察。
*2 2.5X不支持DIC观察。

MIX滑块

		适用的物镜
2	U-MIXR-2	MPLFLN-BD、LMPLFLN-BD、MPLN-BD、MXPLFLN-BD

电缆

U-MIXRCBL*

U-MIXR电缆，电缆长度：0.5 m

_*仅限MIXR

控制箱和手控开关

控制箱用于连接显微镜硬件与PC机，手动控制器用于硬件状态显示和控制。

BX3M-CB（CBFM）配置

1	BX3M-CB	用于BX53M系统的控制箱
2	BX3M-CBFM	用于BXFM系统的控制箱
3	BX3M-HS	MIX观察控件、编码硬件指示器、软件（Stream）的可编程功能按钮
4	BX3M-HSRE	电动物镜转盘旋转

电缆

－

BX3M-RMCBL（ECBL）

电动物镜转盘电缆，电缆长度：0.2 m

控制箱和手控开关

载物台

放置样品的载物台和载物台板。根据样品形状和大小进行选择。

150 mm × 100 mm载物台配置

1	U-SIC64	150 mm × 100 mm平顶手柄载物台
2	U-SHG（T）	改善操作手感的硅胶手柄套（厚型）
3	U-SP64	用于U-SIC64的载物台板
4	U-WHP64	用于U-SIC64的晶圆板
5	BH2-WHR43	用于4-3英寸的晶圆托架
6	BH2-WHR65	用于6-5英寸的晶圆托架
7	U-SPG64	U-SIC64玻璃板

76 mm × 52 mm载物台配置

12	U-SVR M	76 mm × 52 mm右手柄载物台
2	U-SHG（T）	改善操作手感的硅胶手柄套（厚型）
13	U-MSSP	U-SVR（/L）M载物台板
14, 15	U-HR（L）D-4	用于右侧（左侧）开口的薄载玻夹
16, 17	U-HR（L）DT-4	右（左）开口的厚载玻片支架，用于将载玻片压在载物台台面上，标本很难抬起

100 mm × 100 mm载物台配置

8	U-SIC4R 2	105 mm × 100 mm右手柄载物台
9	U-MSSP4	U-SIC4R（L）2载物台板
10	U-WHP2	U-SIC4R（L）2晶圆板
5	BH2-WHR43	用于4-3英寸的晶圆托架
11	U-MSSPG	U-SIC4R玻璃板

其他

18	U-SRG2	可旋转载物台
19	U-SRP	用于POL的可旋转载物台，可以从任意位置以45°锁定
20	U-FMP	用于U-SRP/U-SRG2的机械载物台

相机转接器

用于相机观察的转接器。可从要求的视野和放大倍率中选择。可以使用以下公式计算实际观测范围：实际视场（对角线mm）=视场（视场数）÷物镜放大倍率。

		放大倍率	定心调整	CCD图像区域（视野数量）mm
		放大倍率	定心调整	2/3 英寸	1/1.8英寸	1/2 英寸
1	U-TV1x-2，带U-CMAD3	1	－	10.7	8.8	8
2	U-TV1xC	1	ø2 mm	10.7	8.8	8
3	U-TV0.63xC	0.63	－	17	14	12.7
4	U-TV0.5xC-3	0.5	－	21.4	17.6	16
5	U-TV0.35xC-2	0.35	－	－	－	22

目镜

用于直接观察显微镜的目镜。根据所需视场进行选择。

		FN（mm）	屈光度调节装置	内置十字线
1	WHN10x	22
2	WHN10x-H	22	■
3	CROSS WHN10x	22	■	■
4	SWH10x-H	26.5	■
5	CROSS SWH10x	26.5	■	■

光学滤光片

光学滤光片可将照射到样品的光线进行各种类型的转换。根据观察需要选择合适的滤光片。

BF、DF、FL

1、2	U-25ND25,6	中性密度滤光片，透射率25%、6%
3	U-25LBD	日光彩色滤光片
4	U-25LBA	卤素彩色滤光片
5	U-25IF550	绿色滤光片
6	U-25L42	紫外线阻挡滤光片
7	U-25Y48	黄色滤光片
8	U-25FR	透雾滤光片（BX3M-URAS-S需要）

POL、DIC

9	U-AN-2	偏光方向固定
10	U-AN360-3	偏光方向可旋转
11	U-AN360P-2	高品质偏光方向可旋转
12	U-PO3	偏光方向固定
13	45-IF546	用于偏光的绿色Ø45 mm滤光片

IR

14	U-AN360IR	红外偏光方向可旋转（U-AN360IR和U-POIR搭配使用进行红外观察时，可减少光晕）
15	U-POIR	红外偏光方向固定
16	U-BP1100IR	带通滤波器：1100 nm
17	U-BP1200IR	带通滤波器：1200 nm

透射光

18	43IF550-W45	绿色ø45 mm滤光片
19	U-POT	偏光滤光片

其他

20

U-25

空滤光片，与用户的ø25 mm滤光片搭配使用

_{*使用BX3M-RLAS-S和U-FDICR时，不需要AN和PO}

聚光镜

聚光镜可会聚和聚焦透射光线。用于透射光观察。

1	U-AC2	Abbe聚光镜（适用于5倍物镜及以上）
2	U-SC3	摇出式聚光镜（适用于1.25倍物镜及以上）
3	U-LWCD	用于玻璃板的长工作距离聚光镜（U-MSSPG、U-SPG64）
4	U-POC-2	用于POL的摆动式聚光镜

镜组

用于BX3M-URAS-S的镜组。根据所需的观察进行选择。

1	U-FBF	用于BF，可拆分ND滤光片
2	U-FDF	用于DF
3	U-FDICR	用于POL，正交尼科尔棱镜的位置固定
4	U-FBFL	适用于BF，内置ND滤光片（需要同时使用BF*和FL）
5	U-FWUS	用于紫外光FL：BP330-385 BA420 DM400
6	U-FWBS	用于蓝光FL：BP460-490 BA520IF DM500
7	U-FWGS	用于绿光FL：BP510-550 BA590 DM570
8	U-FF	空镜组

_{*仅用于同轴反射照明}

中间镜筒

多种用途的各类配件。用于镜筒和照明器之间。

1	U-CA	变倍器（1X、1.25X、1.6X、2X）
2	U-TRU	三目中间镜筒

UIS2物镜

物镜可以放大样品。选择与应用的工作距离、分辨率和观察方法相匹配的物镜。

单击此处了解UIS2物镜的详细信息

简单易用

传统技术变得简单：
简易照明器

照明器的使用大幅减少了显微镜操作过程中通常需要进行的复杂操作。照明器前部的表盘使用户能够轻松更改观察方法。操作员可以在反射光显微镜最常用的观察方法之间快速切换，例如从明场到暗场，再到偏光，以便在不同类型的分析之间轻松切换。此外，还可通过旋转检偏镜对简单的偏光观察进行调节。

直观的显微镜控制：
简易FS和AS设置

使用适当的孔径光阑和视场光阑设置可以提供良好的图像对比度，并充分利用物镜的数值孔径。图例会引导用户根据使用中的观察方法和物镜进行正确设置。

快速找到焦点

机架上的对焦刻度标尺有助于快速锁定焦点。操作人员无需通过目镜查看样品即可大致对准焦点，从而可在检测不同高度的样品时节省时间。

简便而舒适的操作

系统设计会影响用户的工作效率。无论是独立的显微镜用户还是与PRECiV图像分析软件集成的用户，都可以受益于操作方便、清楚地显示硬件位置的手柄控件。这些简单易用的手柄使用户能够专注于他们的样品和他们需要进行的检查。

为了获得持续的照明：
光强度管理器

在初始设置过程中，可以根据编码照明器和/或编码物镜转换器的具体硬件配置调整照明强度。

为了恢复显微镜设置：
编码硬件

编码功能将BX53M的系统设置与PRECiV图像分析软件集成在一起。观察方法、照明强度和放大倍率由软件自动记录，并和关联的图像一起保存。由于操作员可以始终使用相同的观察设置进行检查，因此可以提供可靠的检查结果。

功能

让不可见变为可见：
MIX观察

BX53M的MIX观察技术将传统照明方法与暗场照明相结合。使用MIX滑块时，其环形LED灯可对样品进行定向暗场照射。这与传统的暗场效果类似，但可以选择LED象限，以便从不同角度引导光线。这种定向暗场和明场、荧光或偏光的组合称为MIX照明，尤其有利于突出缺陷以及区分凸起表面和凹陷。

构建全对焦图像：EFI

PRECiV软件中的景深扩展成像（EFI）功能可捕获高度超过物镜聚焦深度的样品图像，并将其堆叠在一起，以构建全对焦图像。可以通过使用手动或电动Z轴实现景深扩展成像（EFI），并可创建高度图，以轻松识别样品结构。也可以使用PRECiV Desktop离线构建EFI图像。

亮区和暗区均可采集：HDR

由于采用了高级图像处理技术，高动态范围（HDR）可调整图像内的亮度差异，以减少眩光。HDR提高了数字图像的视觉质量，有助于生成专业的报告。

_{HDR下清晰显示暴露的黑暗和明亮部分（样品：燃料喷射器灯泡）}

_{通过HDR增强对比度

（样品：菱镁矿石片）}

_{硬币的即时MIA图像}

轻松移动全景载物台：即时MIA

现在，只需移动手动载物台上的XY旋钮，即可轻松快速地拼接图像；无需使用电动载物台。PRECiV软件使用图案识别生成全景图像，为用户提供比单帧更宽的视野。

多样化的测量功能

常规或基本测量功能

PRECiV提供了各种测量功能，使得用户可以轻松地从图像中获得有用的数据。对于质量控制和检查，通常需要图像的测量特征。PRECiV所有级别的许可证都包括交互式测量功能，如距离、角度、矩形、圆、椭圆和多边形。所有测量结果都与图像文件一起保存，以便后续的文件检索。

计数和测量

目标检测和尺寸分布测量是数字成像中最重要的应用之一。PRECiV集成了一个检测引擎，该引擎利用阈值方法将目标（例如颗粒、划痕）与背景可靠分离。

材料科学解决方案

PRECiV为复杂图像分析提供了直观、以工作流程为导向的界面。单击按钮后，可以快速、准确地执行最复杂的图像分析任务，且符合最常见的行业标准。随着重复任务处理时间的显著减少，材料科学家可以专注于分析和研究。夹杂物和截距图的模块化插件可随时轻松使用。

_{3D表面视图（粗糙度检测用样品）}

_{单视图和3D轮廓测量}

3D样品测量

当使用外部电动聚焦驱动器时，可以快速捕获并以3D显示EFI图像。获取的高度数据可用于对轮廓进行3D测量，也可用于单视角图像的3D测量。

查看更多类型和尺寸的样品

新的150 × 100mm载物台在X方向的行程比以前的型号更长。再加上其平板式设计，可以轻松将大型样品或多个样品放置在载物台上。载物台板上有螺纹孔，用于安装样品托架。更大的载物台为用户提供了灵活性，使他们能够在一台显微镜上检测更多样品，节省了宝贵的实验室空间。载物台的扭力可调，便于在高倍率窄视野条件下进行精细定位。

灵活应对不同的样品高度和重量

借助选配的模块化装置，可以将高达105mm的样品固定在载物台上。由于改进了聚焦机制，显微镜可承托高达6 kg的总重量（样品 + 载物台）。这意味着可以在BX53M上检查更大和更重的样品，从而减少实验室所需的显微镜。通过战略性地将6英寸晶圆的可旋转托架定位在偏离中心的位置，在100毫米行程范围内移动时，用户只需旋转托架即可观察整个晶圆表面。经过优化的载物台扭矩调整易于使用，借助舒适的手柄，能够轻松找到样品的感兴趣区域。

_BX53MRF-S

_BXFM

灵活应对不同的样品尺寸

当样品因尺寸过大而无法放在传统显微镜载物台上时，可以对反射光显微镜的核心光学器件进行模块化配置。该模块化系统BXFM可以通过一根柱子安装到更大的支架上，也可以使用安装支架将其安装到选择的另一台仪器上。这样，即使样品的尺寸或形状非常独特，用户也可以充分利用我们优异的光学设备。

保护电子设备免受静电放电影响：ESD兼容

BX53M具有ESD耗散功能，可保护电子设备免受人为或环境因素引起的静电影响。

图像清晰

历史悠久的尖端光学技术

高数值孔径和长工作距离相结合

物镜对显微镜的性能至关重要。
MXPLFLN物镜通过同时最大化数值孔径和工作距离，为MPLFLN系列的落射照明成像增加了深度。在20X和50X倍率下，更高的分辨率通常意味着更短的工作距离，这就迫使在更换物镜过程中取出样品或回缩物镜。在许多情况下，MXPLFLN系列的3 mm工作距离解决了这一问题，可以避免物镜碰到样品，从而实现了更快的检查。

传统50倍物镜：NA 0.8，WD 1 mm/MXPLFLN50X：NA 0.8，WD 3 mm

了解有关MXPLFLN物镜的更多信息

出色的光学性能：
波前像差控制

物镜的光学性能直接影响观察图像的质量和分析结果。奥林巴斯UIS2高倍率物镜可很大限度减小波前像差，实现可靠的光学性能。

了解有关UIS2物镜的更多信息

_{波前效果不佳}

_{波前效果良好（UIS2物镜）}

_{卤素灯：颜色随光强变化而变化。}

_{LED：颜色与光强保持一致，并且比卤素灯更清晰。}
^{* 所有图像均使用自动曝光拍摄}

稳定的色温：
高强度白光LED照明

BX53M将高强度白色LED光源用于反射光和透射光。无论强度如何，LED均保持稳定的色温。LED可提供高效、长寿命的照明，是材料学检测应用的理想选择。

品质优秀，性能卓越

支持精确测量：
自动校准

与数字显微镜类似，使用PRECiV时可以进行自动校准。自动校准消除了校准过程中的人为变化，从而实现更可靠的测量。自动校准使用的算法可根据多个测量点的平均值自动计算正确的校准值。这样就大幅减少了因不同人员操作所产生的差异，保持了稳定的准确性，提高了定期验证的可靠性。

_{半导体晶圆（二值化图像）：}
^{阴影校正可使整个视场的照明均匀。}

无缝拼接：
图像阴影校正

PRECiV软件具有阴影校正功能，可校正图像角落四周的阴影。使用光强阈值设置时，阴影校正有助于更准确的分析。

了解有关PRECiV的更多信息

应用

半导体晶圆上的IC图案

暗场用于检测样品上的微小划痕或缺陷，或检查具有镜面的样品，例如晶圆。

MIX照明使用户能够查看图案和颜色。

MIX（明场 + 暗场）

_{MIX（明场 + 暗场）}

_暗场

_荧光

MIX（荧光 + 暗场）

_{MIX（荧光 + 暗场）}

半导体晶圆上的光刻胶残留

荧光用于在使用专门设计的滤光立方体照明时发光的样品。这用于检测污染和光刻胶残留。

MIX照明可以观察光刻胶残留和IC图案。

LCD彩色滤光片

这种观察技术适用于透明样品，例如LCD、塑料和玻璃材料。

MIX照明可以观察滤光片颜色和电路图案。

透射光

_透射光

MIX（透射光 + 明场）

_{MIX（透射光 + 明场）}

_明场

微分干涉对比（DIC）

_{微分干涉对比（DIC）}

球墨铸铁

DIC是一种观察技术，其中样品的高度以浮雕形式显现，类似于对比度提高的3D图像；这种技术非常适合检查高度差异非常小的样品，包括金相组织和矿物。

绢云母

微分干涉对比（DIC）是一种观察技术，使用这种技术时，通常无法在明场中检测到的样品高度会以浮雕形式显现，类似于对比度提高的3D图像。这种技术非常适合检查高度差异非常小的样品，包括金相组织和矿物。

_明场

_偏光

红外（IR）

_{红外（IR）}

IC图案上的结合区

IR用于寻找IC芯片和其他由玻璃硅制成的器件内部的缺陷。

规格

BX53M通用建议配置规格

			入门型		标准型		高级型
光学系统			UIS2光学系统（无限远校正）
主机规格	显微镜机身		BX53MRF-S （反射）	BX53MTRF-S （反射/透射）	BX53MRF-S （反射）	BX53MTRF-S （反射/透射）	BX53MRF-S （反射）	BX53MTRF-S （反射/透射）
	对焦		行程：25 mm 转盘每旋转一圈的行程：100 μm 行程精度：1 μm 配有上限限位器，用于粗调手柄的扭力调节
	最大样品高度		反射：65 mm（不含高度适配器），105 mm（带BX3M-ARMAD）反射/透射：35 mm（不含高度适配器），75 mm（带BX3M-ARMAD）
	观察镜筒	宽视场（F.N.22）	U-TR30-2-2 倒像：三目镜筒
	照明	反射光透射光	BX3M-KMA-S 白光LED、BF/DIC/POL/MIX FS、AS（带定心机械装置）、BF/DF联锁		BX3M-RLAS-S 编码，白光LED、BF/DF/DIC/POL/MIX FS、AS（带定心机械装置）、BF/DF联锁
			－	BX3M-LEDT 白光LED 阿贝/长工作距离聚光镜	－	BX3M-LEDT 白光LED 阿贝/长工作距离聚光镜	－	BX3M-LEDT 白光LED 阿贝/长工作距离聚光镜
	物镜转换器		U-5RE-2 用于BF：五孔物镜转盘		U-D6BDRE 用于BF/DF：六孔物镜转盘			U-D6BDRES-S 用于BF/DF：六孔物镜转盘，编码
	目镜（F.N.22）		WHN10 WHN10X-H
	MIX观察		－					BX3M-CB 控制箱 BX3M-HS 手控开关 U-MIXR-2 MIX滑块，用于反射光观察 U-MIXRCBL MIXR用电缆
	聚光镜（长工作距离）		－	U-LWCD	－	U-LWCD	－	U-LWCD
	电源线		UYCP（x1）					UYCP（x2）
	重量		反射：约15.8 kg（显微镜机身7.4 kg）反射/透射：约18.3 kg（显微镜机身7.6 kg）
物镜	MPLFLN套装		MPLFLN5X、10X、20X、50X、100X BF/POL/FL观察		－
	MPLFLN BD套装		－		MPLFLN5XBD、10XBD、20XBD、50XBD、100XBD BF/DF/DIC/POL/FL观察
	MPLFLN-BD、LMPLFLN-BD套装		－		MPLFLN5XBD、10XBD、LMPLFLN20XBD、50XBD、100XBD BF/DF/DIC/POL/FL观察
	MPLFLN-BD、MXPLFLN-BD、LMPLFLN-BD套装		－		MPLFLN5XBD、10XBD、MXPLFLN20XBD、50XBD、LMPLFLN20XBD、50XBD、100XBD BF/DF/DIC/POL/FL观察
载物台（X x Y）	76 mm × 52 mm行程		U-SVRM、U-MSSP 同轴右手柄载物台/76（X）x 52（Y）mm，带扭矩调整
	100mm x 100mm套装		U-SIC4R2、U-MSSP4 大号同轴右手柄载物台/100（X）x 100（Y）mm，Y轴带锁定机械装置
	100 mm × 100（G）mm行程		U-SIC4R2、U-MSSPG 大号同轴右手柄载物台/100（X）x 100（Y）mm，Y轴带锁定机械装置（玻璃板）
	150 mm × 100 mm行程		U-SIC64、U-SHG、U-SP64 大号同轴右手柄载物台/150（X）x 100（Y）mm，带扭矩调整，Y轴带锁定机械装置
	150 mm × 100（G）mm行程		U-SIC64、U-SHG、U-SPG64 大号同轴右手柄载物台/150（X）x 100（Y）mm，带扭矩调整，Y轴带锁定机械装置（玻璃板）
选配件	MIX观察套装*		BX3M-CB、BX3M-HS、U-MIXR-2、U-MIXRCBL				－
	DIC*		U-DICR
	中间镜筒		U-CA、U-EPA2、U-TRU
	滤光片		U-25ND6、U-25ND25、U-25LBD、U-25LBA、U-25Y48、U-AN360-3、U-AN360P、U-PO3、U-25IF550、U-25L42、U-25、U-25FR
	聚光镜滤光片		43IF550-W45、U-POT
	载物台板		U-WHP64、BH2-WHR43、BH2-WHR65、U-WHP2
	标本夹		U-HRD-4、U-HLD-4、U-HRDT-4、U-HLDT-4
	手柄轴橡胶套		U-SHG、U-SHGT

_{*无法与U-5RE-2搭配使用。}

BX53M/BXFM ESD装置

部件	显微镜机身	BX53MRF-S、BX53MTRF-S
	照明器	BX3M-KMA-S、BX3M-RLA-S、BX3M-URAS-S、BX3M-RLAS-S
	物镜转盘	U-D6BDREMC、U-D6BDRES-S、U-D5BDREMC-ESD、U-5RES-ESD
	载物台	U-SIC4R2、U-MSSP4

BX53M专用建议配置规格

				荧光		红外	偏光
光学系统				UIS2光学系统（无限远校正）
主机规格	显微镜机身			BX53MRF-S （反射）	BX53MTRF-S （反射/透射）	BX53MRF-S （反射）	BX53MTRF-S （反射/透射）
	对焦			行程：25 mm 转盘每旋转一圈的行程：100 μm 行程精度：1 μm 配有上限限位器，用于粗调手柄的扭力调节
	最大样品高度			反射：65 mm（不含高度适配器），105 mm（带BX3M-ARMAD）反射/透射：35 mm（不含高度适配器），75 mm（带BX3M-ARMAD）
	观察镜筒	宽视场（F.N.22）		U-TR30-2 倒像：三目镜筒		U-TR30IR 倒像：IR用三目镜筒	U-TR30-2 倒像：三目镜筒
		偏光中间附件（U-CPA）	勃氏镜	－		－	可对焦
			勃氏镜视场光阑	－		－	Ø3.4 mm直径（固定）
			接合或分离正交镜和锥光镜观察之间的勃氏镜转换	－		－	滑块位置 ● 向内滑块位置 ○ 向外
			检偏镜插槽	－		－	带插槽的可旋转检偏镜（U-AN360P-2）
	照明	反射光	FL观察	BX3M-URAS-S 编码通用反射光，4位分光镜组件转换器，（标准：U-FWUS、U-FWBS、U-FWGS、U-FBF等），带FS、AS（带对中装置）、带光阑装置		－	－
			IR观察	－		BX3M-RLA-S 100W卤素灯，适用于IR、BF/IR、AS（带定心机械装置） U-LH100IR（包括12V 10W HAL-L） 100W卤素灯光源，适用于IR TH4-100 100W电源 TH4-HS 手控开关 U-RMT 延长线	－
		透射光	POL观察	－		－	BX3M-LEDT 白光LED 阿贝/长工作距离聚光镜
	物镜转换器			U-D6BDRES-S 用于BF/DF：六孔物镜转盘，编码		U-5RE-2 用于BF：五孔物镜转盘	U-P4RE 四孔，附对中组件可以使用板转接器（U-TAD）连接的1/4波长延迟板（U-TAD）、色板（U-TP530）和各种补色器
	目镜（F.N.22）			WHN10X
				WHN10X-H			CROSS-WHN10X
	镜组			U-FDF 用于DF U-FBFL 用于BF，内置ND滤光片 U-FBF 用于BF，可拆分ND滤光片 U-FWUS 用于紫外光FL U-FWBS 用于蓝光FL U-FWGS 用于绿光FL		－
	滤光片/偏光镜/检偏镜			U-25FR 磨砂滤光片		U-BP1100IR/U-BP1200IR 紫外光用带通滤光片	43IF550-W45 绿色滤光片
				U-POIR 用于IR的反射偏光镜滑块		U-AN360IR 用于IR的可旋转检偏镜滑块	U-AN360P-2 表盘可360°旋转可旋转最小角度0.1°
	聚光镜			U-LWCD 长工作距离		－	U-POC-2 消色差透镜无应力聚光镜。 360°可旋转偏光镜，带外摆式消色差顶部透镜。位置“0°”处的锁定光圈可调节。 NA 0.9（顶面透镜向内）/NA 0.18（顶面透镜向外）孔径光阑：直径从2 mm至21 mm可调节
	滑块/补色器			－			U-TAD 滑块（板转接器）
							U-TP530 色板 U-TP137 1/4波长延迟板
	电源线			UYCP（x1）		UYCP（x2）	UYCP（x1）
	重量			反射：约15.8 kg（显微镜机身7.4 kg）	反射/透射：约18.3 kg（显微镜机身7.6 kg）	约18.9 kg（显微镜机身7.4 kg）	约16.2 kg（显微镜机身7.6 kg）
反射FL光源	光导			U-LGPS、U-LLGAD、U-LLG150，光导套装		－	－
	汞灯			U-LH100HGAPO1-7、USH-103OL（x2）、U-RFL-T、U-RCV 汞灯套装		－	－
物镜	MPLFLN套装			MPLFLN5X、10X、20X、50X、100X BF/DIC/POL/FL观察		－	－
	MPLFLN BD套装			MPLFLN5XBD、10XBD、20XBD、50XBD、100XBD BF/DF/DIC/POL/FL观察		－	－
	MPLFLN-BD、LMPLFLN-BD套装			MPLFLN5XBD、10XBD、LMPLFLN20XBD、50XBD、100XBD BF/DF/DIC/POL/FL观察		－	－
	MPLFLN-BD、MXPLFLN-BD、LMPLFLN-BD套装			MPLFLN5XBD、10XBD、MXPLFLN20XBD、50XBD、LMPLFLN20XBD、50XBD、100XBD BF/DF/DIC/POL/FL观察		－	－
	IR套装			－		LMPLN5XIR、10XIR、LCPLN20XIR、50XIR、100XIR IR观察	－
	POL套装			－		－	UPLFLN4XP、10XP、20XP、40XP POL观察
载物台（X x Y）	76 mm × 52 mm行程			U-SVRM、U-MSSP 同轴右手柄载物台/76（X）x 52（Y）mm，带扭矩调整
	100mm x 100mm套装			U-SIC4R2、U-MSSP4 大号同轴右手柄载物台/100（X）x 100（Y）mm，Y轴带锁定机械装置
	100 mm × 100（G）mm行程			U-SIC4R2、U-MSSPG 大号同轴右手柄载物台/150（X）x 100（Y）mm，Y轴带锁定机械装置（玻璃板）
	150 mm × 100 mm行程			U-SIC64、U-SHG、U-SP64 大号同轴右手柄载物台/150（X）x 100（Y）mm，带扭矩调整，Y轴带锁定机械装置
	150 mm × 100（G）mm行程			U-SIC64、U-SHG、U-SPG64 大号同轴右手柄载物台/150（X）x 100（Y）mm，带扭矩调整，Y轴带锁定机械装置（玻璃板）
	POL套装			－			U-SRP+U-FMP 偏光可旋转载物台 + 机械载物台
选配件	MIX观察套装*			BX3M-CB、BX3M-HS、U-MIXR-2、U-MIXRCBL
	DIC*			U-DICR
	中间镜筒			U-CA、U-EPA2、U-TRU
	滤光片			U-25ND6、U-25ND25、U-25LBD、U-25LBA、U-25Y48、U-AN360-3、U-AN360P、U-PO3、U-25IF550、U-25L42、U-25、U-25FR
	聚光镜滤光片			43IF550-W45、U-POT
	载物台板			U-WHP64、BH2-WHR43、BH2-WHR65、U-WHP2
	标本夹			U-HRD-4、U-HLD-4、U-HRDT-4、U-HLDT-4
	手柄轴橡胶套			U-SHG、U-SHGT