概述
高质量紧凑型显微镜装配件BXC系列提供高质量的显微镜组件，可抑制变化并提供稳定的成像质量。这些结构紧凑的显微镜组件可通过各种选配件快速、轻松地集成到您的系统中。请从我们的BXC系列资源中心下载设备集成所需的信息。 |
高性能物镜
改进的图像平场性 MPLFLN 2.5倍、5倍和5倍明场/暗场物镜的图像平场性得到了改善，使其能够更快地在低放大倍率下获得拼接图像。为了提高暗场观测的通量，我们推出了明场/暗场2.5倍物镜：MPLFLN2.5XBD。
波前像差控制 MXPLFLN系列物镜采用了高端制造工艺，如可选择波前像差得到了控制的透镜装配件。这种工艺可使设备性能的变化保持在很低水平。
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您将构建什么配置？作为BX显微镜系列的一部分，BXC系列的每个部件都有多种选择，包括物镜、物镜转换器和照明器。该系列旨在让您根据使用情况随意选择。这些组件采用模块化设计，用途广泛，是检测或成像应用的优选装置，如可集成到用于晶圆对准、凸点测量和图像拼接的设备仪器中。 BXC系列配置示例
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系统设计和自动化的高级选项多功能定向暗场 暗场用于观察来自样品的散射或衍射光——例如镜面或半导体晶圆上的划痕或缺陷。MIX滑块无需大型专用光学器件即可实现暗场，并通过16个可单独控制的LED光源增强了传统暗场，可使您控制照射在样品上的光的方向。此外，这种通过使用MIX滑块实现的定向暗场技术还可与明场、简易偏光或荧光观测相结合。
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技术规格
BXC系列规格
| BXC-CBRML系统 | BXC-CBB系统 | |||
|---|---|---|---|---|
| 入门型 只使用一个BF物镜，可节省空间  | 多功能型 基本紧凑型装配件  | 高级型 全面电动化配件，用于 无尘室  | ||
| 配置示例 | BXFM-F、BXFM-ILHS、U-SWATLU、U-KMAS、BX3M-LEDR、CMP-LLHECBL、BXC-CBRML、STM7-MMOBAD BD-M-AD、SLMPLN20X | BXFM-F、BXFM-ILHS、U-SWATLU、U-KMAS、BX3M-LEDR、CMP-LLHECBL、U-D5BDREMC、BXC-REMECBL、U-MIXR-2、U-MIXRECBL、BXC-CBRML、MPLFLN5XBD2、LMPLFLN20XBD、LMPLFLN50XBD | BXC-FSU、BXC-RLI、U-SWATLU、BX3M-LEDR、U-D5BDREMC-VA、BXC-CBB、BXC-CBE1、BXC-LCBL1M、BXC-LCBL3M、MPLFLN2.5XBD、MPLFLN5XBD2、MPLFLN10XBD-2、MXPLFLN20XBD、MXPLFLN50XBD | |
| 物镜透镜 | 20X（NA：0.25，WD：25 mm） |
5X NA：0.15，WD：12 mm
20X NA：0.4，WD：12 mm 50X NA：0.5，WD：10.6 mm |
2.5X NA：0.08，WD：8.7 mm
5X NA：0.15，WD：12 mm 10X NA：0.3，WD：6.5 mm 20X NA：0.55，WD：3 mm 50X NA：0.8，WD：3 mm | |
| 最小分辨率@λ=550 nm | 1.34 μm（20X物镜） | 0.67 μm（50X物镜） | 0.42 μm（50X物镜） | |
| 最大景深@λ=550 nm | ± 4.4 μm（20X物镜） | ±12.2 μm（5X物镜） | ± 43 μm（2.5X物镜） | |
| 重量 — 不含 BXFM-F、支架、控制器 | 3.4 kg | 4 kg | 8.3 kg | |
| 观察模式 | BF | BF、DF、MIX | BF、DF | |
| Z轴 | 30 mm（手动） | 30 mm（手动） | 由集成商提供的硬件 | |
| 自动聚焦支持 | — | — | 可用 | |
| 滤光片滑块槽 | 3 | 3 | 1 | |
| 物镜转盘 | 电动 | — | 可用 | 可用 |
| 真空 | — | — | 可用 | |
| 最大物镜数 | 1 | 5 | 5 | |
| 视场数（mm） | 26.5 | 26.5 | 26.5 | |
| 孔径光阑 | — | — | 可用 | |
| 尺寸：不含BXFM-F、支架、控制器（宽 × 深 × 高） | 108 mm × 249 mm × 215 mm | 108 mm × 249 mm × 230 mm | 132 mm × 404 mm × 277 mm | |
*这些都是配置示例。请与您当地的代表合作，选择符合您要求的组件。 |
资源库
产品信息说明册手册 |
