オリンパス株式会社(社長:笹
宏行)は、科学事業の新製品として、製造工程における加工部品や半導体部品、電子部品の形状測定を効率的に行える測定顕微鏡「STM7」を、2014年11
月4日から世界で順次発売します。
測定顕微鏡は、非接触の形状測定と金属顕微鏡による観察が1台で行える光学機器です。従来の加工部品の測定に加え、近年増加傾向にある携帯機器の半導体部品など、様々な部品の製造・組立現場で、対象物を傷つけずに、効率的な測定を可能にします。
今回発売する「STM7」は、検査対象物を載せるステージを大型かつ正方形にすることで、様々な大きさや形状の部品を一度にステージに置き測定することができます。さらに、本体台座に高剛性かつ高耐震性が特長の石定盤(花崗岩)を採用し、長期使用と安定した測定を可能にしました。また、測定支援ソフトウエアと顕微鏡用デジタルカメラの併用により、簡単な操作で、複雑な形状の測定を正確に行うことができます。
なお、本製品は2014 年10 月30 日(木)~11 月4 日(火)に東京ビッグサイトで開催される「JIMTOF2014 第27 回日本国際工作機械見本市」に展示します。
●主な特長
- 大型の正方形ステージにより効率的な測定が可能
- 本体台座に高剛性、高耐震性の石定盤を採用することにより、安定した高精度測定を実現
- 測定支援ソフトウエアと顕微鏡用デジタルカメラの併用により、簡単な操作で、複雑な形状でも正確
●発売の背景
従来の加工部品そのものの測定に加え、近年は、携帯情報端末などに使用される微細な半導体部品や精密部品および部品同士の貼り合わせ具合など、製造・組立現場における測定ニーズが高まっています。
測定顕微鏡は、金属顕微鏡と測定機の機能を併せ持ち、正確な測定を1台で効率的に行なえるため、様々な検査に用いられています。
当社は、「STM6」(2001 年3月発売)の次機種として「STM7」を導入することで、製造・組立現場における検
査のさらなる効率化をサポートします。
●主な特長の詳細
- 大型の正方形ステージにより効率的な測定が可能
検査・測定対象物を載せるステージを、従来の250mm×150mm から300mm×300mm の大型で正方形のタイプにしました。これにより、半導体の300mm
ウエハやプリント基板などの大型の対象物(サンプル)も向きを変えずに測定することが可能です。また小型のサンプルは複数同時にステージに置けるので、効率的な測定が可能です。
- 本体台座に高剛性、高耐震性の石定盤を採用することにより、安定した高精度測定を実現
1 万分の1mm
の精度で部品の大きさや組み立て具合などを測定するため、測定顕微鏡には安定性と耐震性が求められます。「STM7」は、本体台座に高剛性、高耐震性の石定盤(花崗岩)を採用することで、より安定した高精度な測定を実現しました。
- 測定支援ソフトウエアと顕微鏡用デジタルカメラの併用により、簡単な操作で、複雑な形状でも正確に測定が可能
測定支援ソフトウエア「STM7-BSW」と当社の顕微鏡用デジタルカメラを併用することで、簡単な操作で、より複雑な形状の部品でも正確に測定が行えます。測定結果は簡単にMicrosoft
Excel に出力でき、効率的なレポートの作成を可能にします。
●主な仕様
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小型手動本体 STM7-SF
小型電動本体 STM7-SFA
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中型手動本体 STM7-MF
中型電動本体 STM7-MFA
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大型手動本体 STM7-LF
大型電動本体 STM7-LFA
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本体
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フォーカス
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観察可能
最大高さ
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測定対物:120mm 金属対物:175mm
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測定対物:90mm
金属対物:145mm*
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対物レンズ
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測定対物
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MM6-OB シリーズ
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金属対物
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MPLFLN シリーズ、LMPLFLN シリーズ、MPLFLN-BD シリーズ、LMPLFLN-BD シリーズ
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ステージ
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測定範囲
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STM7-CS50:X 軸50mm Y 軸50mm
STM7-CS100:X 軸100mm Y軸100mm
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STM7-CS200:X 軸200mm Y軸200mm
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STM7-CS300:X 軸300mm Y 軸300mm
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測定精度
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STM7-CS50: (3+L/50)μm
STM7-CS100: (3+2L/100)μm
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(3+4L/200)μm
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(3+6L/300)μm
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カウンタ
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軸数
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3 軸
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最小分解能
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0.1μm
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外形寸法
(W x D x H)mm
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466 x 583 x 651
466 x 583 x 811
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606 x 762 x 651
606 x 762 x 811
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804 x 1024 x 686
804 x 1024 x 844
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質量(kg)
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約84kg/約92kg
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約152kg/約159kg
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約277kg/約284kg
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* 大型本体STM7-LF/STM7-LFA 使用時、光軸から180mm 以上奥まった位置では高さ100mm 以下の測定物が搭載可能
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